中国机械工程
中國機械工程
중국궤계공정
CHINA MECHANICAl ENGINEERING
2005年
z1期
119-121
,共3页
张国威%刘晓为%陈伟平%倪鹤南%王喜莲
張國威%劉曉為%陳偉平%倪鶴南%王喜蓮
장국위%류효위%진위평%예학남%왕희련
扩散口%喷嘴%泵压%无阀微泵
擴散口%噴嘴%泵壓%無閥微泵
확산구%분취%빙압%무벌미빙
依据扩散口/喷嘴理论,设计了不同几何尺寸无阀微泵的扩散口/喷嘴光刻掩模版图,采用硅平面工艺、各向异性腐蚀及削角补偿等技术,制作出了多种无阀微泵.对无阀微泵泵压及流量进行了实验研究,结果表明:泵压与流量均呈现反比关系;扩散口/喷嘴的张角为8°时微泵效率最高;扩散口/喷嘴长度为2500μm、扩散口/喷嘴的窄口宽度为150μm、腐蚀深度为150μm时,无阀微泵的最大泵压和流量分别为14.9kPa和558μL/min.
依據擴散口/噴嘴理論,設計瞭不同幾何呎吋無閥微泵的擴散口/噴嘴光刻掩模版圖,採用硅平麵工藝、各嚮異性腐蝕及削角補償等技術,製作齣瞭多種無閥微泵.對無閥微泵泵壓及流量進行瞭實驗研究,結果錶明:泵壓與流量均呈現反比關繫;擴散口/噴嘴的張角為8°時微泵效率最高;擴散口/噴嘴長度為2500μm、擴散口/噴嘴的窄口寬度為150μm、腐蝕深度為150μm時,無閥微泵的最大泵壓和流量分彆為14.9kPa和558μL/min.
의거확산구/분취이론,설계료불동궤하척촌무벌미빙적확산구/분취광각엄모판도,채용규평면공예、각향이성부식급삭각보상등기술,제작출료다충무벌미빙.대무벌미빙빙압급류량진행료실험연구,결과표명:빙압여류량균정현반비관계;확산구/분취적장각위8°시미빙효솔최고;확산구/분취장도위2500μm、확산구/분취적착구관도위150μm、부식심도위150μm시,무벌미빙적최대빙압화류량분별위14.9kPa화558μL/min.
