厦门大学学报（自然科学版）
廈門大學學報（自然科學版）
하문대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF XIAMEN UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE)
2006年
3期
355-359
,共5页
微机械陀螺仪%梳齿驱动电极%隧道传感器
微機械陀螺儀%梳齒驅動電極%隧道傳感器
미궤계타라의%소치구동전겁%수도전감기
设计了一种扇形梳齿驱动式隧道陀螺仪,意在取代现有的平板驱动方式,以此来提高陀螺仪的灵敏度.从扇形梳齿驱动的工作原理出发,推导了该型陀螺仪的运动方程,分析了结构参数与其灵敏度的内在联系.在此基础上,对陀螺仪设计中与陀螺仪性能相关的机械耦合、静电驱动频率和敏感方向刚度等问题进行了有益的探讨,揭示了静电驱动频率的选择与敏感方向品质因子和驱动方向品质因子大小之间的内在联系,为陀螺仪的尺寸优化设计奠定了理论基础.
設計瞭一種扇形梳齒驅動式隧道陀螺儀,意在取代現有的平闆驅動方式,以此來提高陀螺儀的靈敏度.從扇形梳齒驅動的工作原理齣髮,推導瞭該型陀螺儀的運動方程,分析瞭結構參數與其靈敏度的內在聯繫.在此基礎上,對陀螺儀設計中與陀螺儀性能相關的機械耦閤、靜電驅動頻率和敏感方嚮剛度等問題進行瞭有益的探討,揭示瞭靜電驅動頻率的選擇與敏感方嚮品質因子和驅動方嚮品質因子大小之間的內在聯繫,為陀螺儀的呎吋優化設計奠定瞭理論基礎.
설계료일충선형소치구동식수도타라의,의재취대현유적평판구동방식,이차래제고타라의적령민도.종선형소치구동적공작원리출발,추도료해형타라의적운동방정,분석료결구삼수여기령민도적내재련계.재차기출상,대타라의설계중여타라의성능상관적궤계우합、정전구동빈솔화민감방향강도등문제진행료유익적탐토,게시료정전구동빈솔적선택여민감방향품질인자화구동방향품질인자대소지간적내재련계,위타라의적척촌우화설계전정료이론기출.
