光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2006年
6期
943-947
,共5页
范平%邵建达%易葵%齐红基%范正修
範平%邵建達%易葵%齊紅基%範正脩
범평%소건체%역규%제홍기%범정수
薄膜光学%光学常数%铜膜%离子束溅射
薄膜光學%光學常數%銅膜%離子束濺射
박막광학%광학상수%동막%리자속천사
利用Lambda-900分光光度计对离子束溅射沉积不同厚度Cu膜测定的反射率和透射率,运用哈德雷方程,并考虑基片后表面的影响,对离子束溅射沉积的Cu膜光学常数进行了计算.结果表明,在同一波长情况下,膜厚小于100 nm的纳米Cu膜光学常数随膜厚变化明显;膜厚大于100 nm后,Cu膜的光学常数趋于一定值.Cu膜不连续时的光学常数与连续膜时的光学常数随波长变化规律不同;不同厚度的连续膜的光学常数随波长变化规律相同,但大小随膜厚变化而变化.
利用Lambda-900分光光度計對離子束濺射沉積不同厚度Cu膜測定的反射率和透射率,運用哈德雷方程,併攷慮基片後錶麵的影響,對離子束濺射沉積的Cu膜光學常數進行瞭計算.結果錶明,在同一波長情況下,膜厚小于100 nm的納米Cu膜光學常數隨膜厚變化明顯;膜厚大于100 nm後,Cu膜的光學常數趨于一定值.Cu膜不連續時的光學常數與連續膜時的光學常數隨波長變化規律不同;不同厚度的連續膜的光學常數隨波長變化規律相同,但大小隨膜厚變化而變化.
이용Lambda-900분광광도계대리자속천사침적불동후도Cu막측정적반사솔화투사솔,운용합덕뢰방정,병고필기편후표면적영향,대리자속천사침적적Cu막광학상수진행료계산.결과표명,재동일파장정황하,막후소우100 nm적납미Cu막광학상수수막후변화명현;막후대우100 nm후,Cu막적광학상수추우일정치.Cu막불련속시적광학상수여련속막시적광학상수수파장변화규률불동;불동후도적련속막적광학상수수파장변화규률상동,단대소수막후변화이변화.
