新技术新工艺
新技術新工藝
신기술신공예
NEW TECHNOLOGY & NEW PROCESS
2008年
2期
27-29
,共3页
蓝宝石%化学机械抛光%纳米硅溶胶
藍寶石%化學機械拋光%納米硅溶膠
람보석%화학궤계포광%납미규용효
通过对蓝宝石衬底片的化学机械抛光工艺的研究,系统地分析了蓝宝石抛光工艺过程的性能参数,并经过大量试验,总结出影响因素,提出优化方案.得到的结果是:采用粒径为 40 nm、低分散度的 SiO2溶胶磨料并配以适当参数进行抛光,能够有效地提高加工效率和被加工的蓝宝石表面性能.
通過對藍寶石襯底片的化學機械拋光工藝的研究,繫統地分析瞭藍寶石拋光工藝過程的性能參數,併經過大量試驗,總結齣影響因素,提齣優化方案.得到的結果是:採用粒徑為 40 nm、低分散度的 SiO2溶膠磨料併配以適噹參數進行拋光,能夠有效地提高加工效率和被加工的藍寶石錶麵性能.
통과대람보석츤저편적화학궤계포광공예적연구,계통지분석료람보석포광공예과정적성능삼수,병경과대량시험,총결출영향인소,제출우화방안.득도적결과시:채용립경위 40 nm、저분산도적 SiO2용효마료병배이괄당삼수진행포광,능구유효지제고가공효솔화피가공적람보석표면성능.
