真空系统漏油情况的系统分析
진공계통루유정황적계통분석
Systematic Analysis of Oil Leakage in Vacuum System
  • 万方数据
    洁净与空调技术 길정여공조기술
    CONTAMINATION CONTROL & AIR-CONDITIONING TECHNOLOGY
    2009年 1期 63-65,68 ,共4页

    黄坚%耿佐力

    황견%경좌력

    真空系统%旋片武真空泵%真空阀%气镇阀%漏油 真空繫統%鏇片武真空泵%真空閥%氣鎮閥%漏油
    진공계통%선편무진공빙%진공벌%기진벌%루유
    以某微电子工程真空系统为例,对其漏油故障进行分析,并给出检修思路和故障排除方法.
    이모미전자공정진공계통위례,대기루유고장진행분석,병급출검수사로화고장배제방법.
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