上海交通大学学报
上海交通大學學報
상해교통대학학보
JOURNAL OF SHANGHAI JIAOTONG UNIVERSITY
2001年
6期
947-950
,共4页
戴永兵%沈荷生%张志明%张少强%徐重阳%李兴教
戴永兵%瀋荷生%張誌明%張少彊%徐重暘%李興教
대영병%침하생%장지명%장소강%서중양%리흥교
准分子激光%非晶硅膜%晶化%Raman光谱
準分子激光%非晶硅膜%晶化%Raman光譜
준분자격광%비정규막%정화%Raman광보
采用XeCl准分子激光器对PECVD法生长的非晶硅膜进行了诱导晶化处理.对结晶膜的
晶体质量进行了Raman光谱表征.研究表明，对于非扫描模式，晶化前去氢处理可使结晶膜具有更高的结晶度，即氢的存在阻碍非晶硅的晶化.玻璃衬底与非晶硅膜之间的非晶氮化硅膜对非晶硅膜的晶化没有明显影响.在150～450mJ/cm2，结晶膜的结晶度随能量密度的增大而提高.结晶膜中存在由非晶硅熔化与重结晶引入的张应力.
採用XeCl準分子激光器對PECVD法生長的非晶硅膜進行瞭誘導晶化處理.對結晶膜的
晶體質量進行瞭Raman光譜錶徵.研究錶明，對于非掃描模式，晶化前去氫處理可使結晶膜具有更高的結晶度，即氫的存在阻礙非晶硅的晶化.玻璃襯底與非晶硅膜之間的非晶氮化硅膜對非晶硅膜的晶化沒有明顯影響.在150～450mJ/cm2，結晶膜的結晶度隨能量密度的增大而提高.結晶膜中存在由非晶硅鎔化與重結晶引入的張應力.
채용XeCl준분자격광기대PECVD법생장적비정규막진행료유도정화처리.대결정막적
정체질량진행료Raman광보표정.연구표명，대우비소묘모식，정화전거경처리가사결정막구유경고적결정도，즉경적존재조애비정규적정화.파리츤저여비정규막지간적비정담화규막대비정규막적정화몰유명현영향.재150～450mJ/cm2，결정막적결정도수능량밀도적증대이제고.결정막중존재유비정규용화여중결정인입적장응력.
