超净高纯试剂的现状、应用、制备及配套技术
초정고순시제적현상、응용、제비급배투기술
The actuality,application ,preparation and assistant tech-nologies of Ultra-clean and high pure chemical reagents
  • 万方数据
    化学试剂 화학시제
    CHEMICAL REAGENTS
    2002年 3期 142-145 ,共4页

    穆启道

    목계도

    超净高纯试剂%现状%应用%制备%配套技术 超淨高純試劑%現狀%應用%製備%配套技術
    초정고순시제%현상%응용%제비%배투기술
    对国内外微电子技术配套专用超净高纯试剂进行了评述.
    대국내외미전자기술배투전용초정고순시제진행료평술.
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