微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2003年
2期
59-63
,共5页
蒋中伟%袁大军%陈荣刚%黄文浩%禇家如%刘允萍
蔣中偉%袁大軍%陳榮剛%黃文浩%禇傢如%劉允萍
장중위%원대군%진영강%황문호%저가여%류윤평
双光子微细加工%激发光强%覆盖率%物镜数值孔径
雙光子微細加工%激髮光彊%覆蓋率%物鏡數值孔徑
쌍광자미세가공%격발광강%복개솔%물경수치공경
优化工艺参数是保证双光子微细加工质量的重要条件。经分析选取了激发光强、覆盖率和物镜的数值孔径作为实验研究对象。用自行开发的双光子微细加工系统，通过单独控制一个加工条件而固定其它条件的方法，对比不同条件下系统的实验结果，探讨该工艺条件对加工质量的影响。最后，给出了经参数优化后的部分实验结果。
優化工藝參數是保證雙光子微細加工質量的重要條件。經分析選取瞭激髮光彊、覆蓋率和物鏡的數值孔徑作為實驗研究對象。用自行開髮的雙光子微細加工繫統，通過單獨控製一箇加工條件而固定其它條件的方法，對比不同條件下繫統的實驗結果，探討該工藝條件對加工質量的影響。最後，給齣瞭經參數優化後的部分實驗結果。
우화공예삼수시보증쌍광자미세가공질량적중요조건。경분석선취료격발광강、복개솔화물경적수치공경작위실험연구대상。용자행개발적쌍광자미세가공계통，통과단독공제일개가공조건이고정기타조건적방법，대비불동조건하계통적실험결과，탐토해공예조건대가공질량적영향。최후，급출료경삼수우화후적부분실험결과。
