现代仪器
現代儀器
현대의기
MODERN INSTRUMENTS
2001年
4期
17-20
,共4页
PCIV技术%砷化镓%载流子浓度%二维分布
PCIV技術%砷化鎵%載流子濃度%二維分佈
PCIV기술%신화가%재류자농도%이유분포
本文介绍了用PCIV技术进行GaAs材料载流子浓度测量的方法及我们研制的PCIV测试系统.该系统由探针台、测量单元和计算机系统组成;计算机通过接口与探针台和测试单元相连,形成了全自动化二维Ⅰ-Ⅴ特性测试系统.利用系统控制及数据处理软件可以方便地设定测量参数,对测量结果作二维位图或三维面图显示及统计计算.文中给出了部分离子注入GaAs晶片载流子浓度分布的测量结果.
本文介紹瞭用PCIV技術進行GaAs材料載流子濃度測量的方法及我們研製的PCIV測試繫統.該繫統由探針檯、測量單元和計算機繫統組成;計算機通過接口與探針檯和測試單元相連,形成瞭全自動化二維Ⅰ-Ⅴ特性測試繫統.利用繫統控製及數據處理軟件可以方便地設定測量參數,對測量結果作二維位圖或三維麵圖顯示及統計計算.文中給齣瞭部分離子註入GaAs晶片載流子濃度分佈的測量結果.
본문개소료용PCIV기술진행GaAs재료재류자농도측량적방법급아문연제적PCIV측시계통.해계통유탐침태、측량단원화계산궤계통조성;계산궤통과접구여탐침태화측시단원상련,형성료전자동화이유Ⅰ-Ⅴ특성측시계통.이용계통공제급수거처리연건가이방편지설정측량삼수,대측량결과작이유위도혹삼유면도현시급통계계산.문중급출료부분리자주입GaAs정편재류자농도분포적측량결과.
