光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2004年
1期
40-42,58
,共4页
马俊锋%杨甬英%陈伟%卓永模
馬俊鋒%楊甬英%陳偉%卓永模
마준봉%양용영%진위%탁영모
原子力显微镜%轻敲模式%振动测量%光探针
原子力顯微鏡%輕敲模式%振動測量%光探針
원자력현미경%경고모식%진동측량%광탐침
在轻敲模式AFM中,利用DMT模型与光探针点衍射理论结合来检测微探针的振动,并对振动信号进行频率域分析,通过检测和控制信号中高次谐波分量使针尖-样品间撞击力保持恒定.测试实验表明,该系统具有结构简单、可测不同材料的样品和对软质材料样品损伤小的优点,其测量重复性可达1%,分辩力可达1～5nm.
在輕敲模式AFM中,利用DMT模型與光探針點衍射理論結閤來檢測微探針的振動,併對振動信號進行頻率域分析,通過檢測和控製信號中高次諧波分量使針尖-樣品間撞擊力保持恆定.測試實驗錶明,該繫統具有結構簡單、可測不同材料的樣品和對軟質材料樣品損傷小的優點,其測量重複性可達1%,分辯力可達1～5nm.
재경고모식AFM중,이용DMT모형여광탐침점연사이론결합래검측미탐침적진동,병대진동신호진행빈솔역분석,통과검측화공제신호중고차해파분량사침첨-양품간당격력보지항정.측시실험표명,해계통구유결구간단、가측불동재료적양품화대연질재료양품손상소적우점,기측량중복성가체1%,분변력가체1～5nm.
