传感器技术
傳感器技術
전감기기술
JOURNAL OF TRANSDUCER TECHNOLOGY
2005年
4期
18-20
,共3页
杨光%何金田%李新建%梁二军
楊光%何金田%李新建%樑二軍
양광%하금전%리신건%량이군
多孔硅%湿度%频率
多孔硅%濕度%頻率
다공규%습도%빈솔
用多孔硅作为湿敏元件, 室温下在20 Hz～100 kHz 频率范围,湿度从11 %RH升至95 %RH进行实验.结果表明:不同测试频率对多孔硅湿敏元件有较大影响,低频范围测量灵敏度高;高频范围效果不佳.讨论了频率影响的机理,其理论分析和实验结果一致.
用多孔硅作為濕敏元件, 室溫下在20 Hz～100 kHz 頻率範圍,濕度從11 %RH升至95 %RH進行實驗.結果錶明:不同測試頻率對多孔硅濕敏元件有較大影響,低頻範圍測量靈敏度高;高頻範圍效果不佳.討論瞭頻率影響的機理,其理論分析和實驗結果一緻.
용다공규작위습민원건, 실온하재20 Hz～100 kHz 빈솔범위,습도종11 %RH승지95 %RH진행실험.결과표명:불동측시빈솔대다공규습민원건유교대영향,저빈범위측량령민도고;고빈범위효과불가.토론료빈솔영향적궤리,기이론분석화실험결과일치.
