红外与毫米波学报
紅外與毫米波學報
홍외여호미파학보
JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES
2005年
4期
273-276
,共4页
孙涛%梁晋穗%陈兴国%胡晓宁%李言谨
孫濤%樑晉穗%陳興國%鬍曉寧%李言謹
손도%량진수%진흥국%호효저%리언근
HgCdTe%光伏探测器%钝化%倒易点阵%暗电流
HgCdTe%光伏探測器%鈍化%倒易點陣%暗電流
HgCdTe%광복탐측기%둔화%도역점진%암전류
在同一Hg1-xCdxTe晶片上(x=0.217)制备了单层ZnS钝化和双层(CdTe+ZnS)钝化的两种器件,对器件的低频噪声和暗电流进行了测试.发现单层钝化的器件在反偏较高时具有较高的低频噪声,在对器件的暗电流拟合计算中发现,单层钝化的器件具有较大的表面隧道电流,而这正是单层钝化器件具有较高低频噪声的原因.并通过高分辨X射线衍射中的倒易点阵技术RSM(reciprocal space mapping)研究了两种钝化对HgCdTe外延层晶格完整性的影响,发现单层ZnS钝化的HgCdTe外延层产生了大量缺陷,而这些缺陷正是单层钝化器件具有较高的低频噪声和表面隧道电流的原因.
在同一Hg1-xCdxTe晶片上(x=0.217)製備瞭單層ZnS鈍化和雙層(CdTe+ZnS)鈍化的兩種器件,對器件的低頻譟聲和暗電流進行瞭測試.髮現單層鈍化的器件在反偏較高時具有較高的低頻譟聲,在對器件的暗電流擬閤計算中髮現,單層鈍化的器件具有較大的錶麵隧道電流,而這正是單層鈍化器件具有較高低頻譟聲的原因.併通過高分辨X射線衍射中的倒易點陣技術RSM(reciprocal space mapping)研究瞭兩種鈍化對HgCdTe外延層晶格完整性的影響,髮現單層ZnS鈍化的HgCdTe外延層產生瞭大量缺陷,而這些缺陷正是單層鈍化器件具有較高的低頻譟聲和錶麵隧道電流的原因.
재동일Hg1-xCdxTe정편상(x=0.217)제비료단층ZnS둔화화쌍층(CdTe+ZnS)둔화적량충기건,대기건적저빈조성화암전류진행료측시.발현단층둔화적기건재반편교고시구유교고적저빈조성,재대기건적암전류의합계산중발현,단층둔화적기건구유교대적표면수도전류,이저정시단층둔화기건구유교고저빈조성적원인.병통과고분변X사선연사중적도역점진기술RSM(reciprocal space mapping)연구료량충둔화대HgCdTe외연층정격완정성적영향,발현단층ZnS둔화적HgCdTe외연층산생료대량결함,이저사결함정시단층둔화기건구유교고적저빈조성화표면수도전류적원인.