现代电子技术
現代電子技術
현대전자기술
MODERN ELECTRONICS TECHNIQUE
2007年
6期
188-189,192
,共3页
二元光学激光直写设备%压电陶瓷%调焦系统%LabView
二元光學激光直寫設備%壓電陶瓷%調焦繫統%LabView
이원광학격광직사설비%압전도자%조초계통%LabView
为了提高在激光直写设备中光刻系统的写入精度,对光探头调焦系统进行了研究.提出一种应用LabView实现伺服调焦系统的方法.其中,详细介绍了光学临界角法检焦的实现原理,分析了在检焦过程中出现的探测器暗电流过大,杂散光干扰以及对称性差等问题.最后阐述了如何利用强大的图形化编程工具LabView实现数据的分析、计算及驱动PZT(压电陶瓷)的过程.整个系统经实地验证,取得了良好的效果,精度可达到0.2μm.
為瞭提高在激光直寫設備中光刻繫統的寫入精度,對光探頭調焦繫統進行瞭研究.提齣一種應用LabView實現伺服調焦繫統的方法.其中,詳細介紹瞭光學臨界角法檢焦的實現原理,分析瞭在檢焦過程中齣現的探測器暗電流過大,雜散光榦擾以及對稱性差等問題.最後闡述瞭如何利用彊大的圖形化編程工具LabView實現數據的分析、計算及驅動PZT(壓電陶瓷)的過程.整箇繫統經實地驗證,取得瞭良好的效果,精度可達到0.2μm.
위료제고재격광직사설비중광각계통적사입정도,대광탐두조초계통진행료연구.제출일충응용LabView실현사복조초계통적방법.기중,상세개소료광학림계각법검초적실현원리,분석료재검초과정중출현적탐측기암전류과대,잡산광간우이급대칭성차등문제.최후천술료여하이용강대적도형화편정공구LabView실현수거적분석、계산급구동PZT(압전도자)적과정.정개계통경실지험증,취득료량호적효과,정도가체도0.2μm.
