功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2007年
4期
384-388
,共5页
Si薄膜%动力学蒙特卡罗%扩散距离%成岛温度
Si薄膜%動力學矇特卡囉%擴散距離%成島溫度
Si박막%동역학몽특잡라%확산거리%성도온도
本文在分析表面扩散各向异性、二聚体和二聚体列影响的基础上,建立了Si(100)-(2×1) 表面上Si薄膜生长的Kinetic Monte Carlo(KMC)模型,利用该模型对薄膜生长的初始阶段进行了研究.结果表明:吸附原子的扩散距离随温度的变化满足指数函数L=L0AeT/C.在一定的入射率下存在一最佳成岛温度,该温度随入射率的增大而升高.随入射率的减小,薄膜逐渐从离散生长向紧致生长转变,表面扩散的各向异性越显著.
本文在分析錶麵擴散各嚮異性、二聚體和二聚體列影響的基礎上,建立瞭Si(100)-(2×1) 錶麵上Si薄膜生長的Kinetic Monte Carlo(KMC)模型,利用該模型對薄膜生長的初始階段進行瞭研究.結果錶明:吸附原子的擴散距離隨溫度的變化滿足指數函數L=L0AeT/C.在一定的入射率下存在一最佳成島溫度,該溫度隨入射率的增大而升高.隨入射率的減小,薄膜逐漸從離散生長嚮緊緻生長轉變,錶麵擴散的各嚮異性越顯著.
본문재분석표면확산각향이성、이취체화이취체렬영향적기출상,건립료Si(100)-(2×1) 표면상Si박막생장적Kinetic Monte Carlo(KMC)모형,이용해모형대박막생장적초시계단진행료연구.결과표명:흡부원자적확산거리수온도적변화만족지수함수L=L0AeT/C.재일정적입사솔하존재일최가성도온도,해온도수입사솔적증대이승고.수입사솔적감소,박막축점종리산생장향긴치생장전변,표면확산적각향이성월현저.
