真空
真空
진공
VACUUM
2008年
1期
56-59
,共4页
王吉林%陆永浩%罗庆洪%杨会生%王燕斌
王吉林%陸永浩%囉慶洪%楊會生%王燕斌
왕길림%륙영호%라경홍%양회생%왕연빈
反应磁控溅射%TiAlNO薄膜%结构%硬度%摩擦性能
反應磁控濺射%TiAlNO薄膜%結構%硬度%摩抆性能
반응자공천사%TiAlNO박막%결구%경도%마찰성능
采用独立的Ti靶和Al靶,用射频反应磁控溅射方法,逐步控制氧流量在高速钢(W18Cr4V)基体上沉积了一系列具有不同氧含量的TiAlNO薄膜.研究了氧流量对薄膜组织结构、硬度和摩擦性能的影响.结果表明,在(Ti,Al)N中加入氧形成由(Ti,Al)(N,O)纳米晶和(TiO2,Al2O3)非晶组成的复合结构.随着氧流量的增加,薄膜中晶体相晶格常数逐步减小,其取向则逐步从(111)为主转变为(111)和(200)混合.同时薄膜硬度缓慢地下降,摩擦系数和磨损量先减少后增大,在氧流量为0.9 sccm时达到最小值.研究同时表明,当氧流量为0.9 sccm时薄膜具有最小摩擦系数和高耐磨性,同时保持了高硬度,综合性能最好.
採用獨立的Ti靶和Al靶,用射頻反應磁控濺射方法,逐步控製氧流量在高速鋼(W18Cr4V)基體上沉積瞭一繫列具有不同氧含量的TiAlNO薄膜.研究瞭氧流量對薄膜組織結構、硬度和摩抆性能的影響.結果錶明,在(Ti,Al)N中加入氧形成由(Ti,Al)(N,O)納米晶和(TiO2,Al2O3)非晶組成的複閤結構.隨著氧流量的增加,薄膜中晶體相晶格常數逐步減小,其取嚮則逐步從(111)為主轉變為(111)和(200)混閤.同時薄膜硬度緩慢地下降,摩抆繫數和磨損量先減少後增大,在氧流量為0.9 sccm時達到最小值.研究同時錶明,噹氧流量為0.9 sccm時薄膜具有最小摩抆繫數和高耐磨性,同時保持瞭高硬度,綜閤性能最好.
채용독립적Ti파화Al파,용사빈반응자공천사방법,축보공제양류량재고속강(W18Cr4V)기체상침적료일계렬구유불동양함량적TiAlNO박막.연구료양류량대박막조직결구、경도화마찰성능적영향.결과표명,재(Ti,Al)N중가입양형성유(Ti,Al)(N,O)납미정화(TiO2,Al2O3)비정조성적복합결구.수착양류량적증가,박막중정체상정격상수축보감소,기취향칙축보종(111)위주전변위(111)화(200)혼합.동시박막경도완만지하강,마찰계수화마손량선감소후증대,재양류량위0.9 sccm시체도최소치.연구동시표명,당양류량위0.9 sccm시박막구유최소마찰계수화고내마성,동시보지료고경도,종합성능최호.
