红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2006年
z2期
53-56
,共4页
刘宏开%罗崇泰%王多书%陈焘%叶自煜
劉宏開%囉崇泰%王多書%陳燾%葉自煜
류굉개%라숭태%왕다서%진도%협자욱
连续型衍射透镜%光致抗蚀剂%激光直写%连续型浮雕结构%微光学元件
連續型衍射透鏡%光緻抗蝕劑%激光直寫%連續型浮彫結構%微光學元件
련속형연사투경%광치항식제%격광직사%련속형부조결구%미광학원건
研究了不同于台阶形式的具有连续浮雕结构的衍射聚光透镜的激光直写工艺,简要描述了光致抗蚀剂的曝光和显影,对激光直写工艺的机理和工艺过程进行阐述.利用CLWS-300W/C极坐标激光直写设备制作出了具有良好面形微结构和较高衍射效率的连续型衍射透镜.研究表明,激光直写技术直写精度高,加工工艺灵活,利用计算机的控制,能够根据光学设计产生的浮雕分布数据制作复杂的、任意形状和外形的微型浮雕结构,非常适合于高精度微光学元件的加工制作.
研究瞭不同于檯階形式的具有連續浮彫結構的衍射聚光透鏡的激光直寫工藝,簡要描述瞭光緻抗蝕劑的曝光和顯影,對激光直寫工藝的機理和工藝過程進行闡述.利用CLWS-300W/C極坐標激光直寫設備製作齣瞭具有良好麵形微結構和較高衍射效率的連續型衍射透鏡.研究錶明,激光直寫技術直寫精度高,加工工藝靈活,利用計算機的控製,能夠根據光學設計產生的浮彫分佈數據製作複雜的、任意形狀和外形的微型浮彫結構,非常適閤于高精度微光學元件的加工製作.
연구료불동우태계형식적구유련속부조결구적연사취광투경적격광직사공예,간요묘술료광치항식제적폭광화현영,대격광직사공예적궤리화공예과정진행천술.이용CLWS-300W/C겁좌표격광직사설비제작출료구유량호면형미결구화교고연사효솔적련속형연사투경.연구표명,격광직사기술직사정도고,가공공예령활,이용계산궤적공제,능구근거광학설계산생적부조분포수거제작복잡적、임의형상화외형적미형부조결구,비상괄합우고정도미광학원건적가공제작.
