中国表面工程
中國錶麵工程
중국표면공정
CHINA SURFACE ENGINEERING
2002年
3期
20-23
,共4页
米彦郁%胡奈赛%何家文%陈华
米彥鬱%鬍奈賽%何傢文%陳華
미언욱%호내새%하가문%진화
薄膜%复合硬度%显微硬度%纳米压入仪
薄膜%複閤硬度%顯微硬度%納米壓入儀
박막%복합경도%현미경도%납미압입의
用传统的显微硬度计直接测量薄膜硬度难以避免基体的影响且小载荷压入时产生的较小的压痕不易被准确测量.纳米压入仪是一种可以精确控制及测量压入深度的高精度仪器.这种通过测压入深度测硬度值的技术可以减少基体硬度对薄膜测量硬度的影响同时产生的误差较直接测压痕对角线的误差小.但是,纳米压入仪对试样表面光洁度要求高,仪器价格昂贵.这些都限制其在实际工业中的应用.较好的一种硬度测试方法是通过传统显微硬度计在不同的大载荷下测得膜基复合硬度,同时建立适当的模型计算出薄膜的本征硬度值.此方法可能更适合于常规应用.
用傳統的顯微硬度計直接測量薄膜硬度難以避免基體的影響且小載荷壓入時產生的較小的壓痕不易被準確測量.納米壓入儀是一種可以精確控製及測量壓入深度的高精度儀器.這種通過測壓入深度測硬度值的技術可以減少基體硬度對薄膜測量硬度的影響同時產生的誤差較直接測壓痕對角線的誤差小.但是,納米壓入儀對試樣錶麵光潔度要求高,儀器價格昂貴.這些都限製其在實際工業中的應用.較好的一種硬度測試方法是通過傳統顯微硬度計在不同的大載荷下測得膜基複閤硬度,同時建立適噹的模型計算齣薄膜的本徵硬度值.此方法可能更適閤于常規應用.
용전통적현미경도계직접측량박막경도난이피면기체적영향차소재하압입시산생적교소적압흔불역피준학측량.납미압입의시일충가이정학공제급측량압입심도적고정도의기.저충통과측압입심도측경도치적기술가이감소기체경도대박막측량경도적영향동시산생적오차교직접측압흔대각선적오차소.단시,납미압입의대시양표면광길도요구고,의기개격앙귀.저사도한제기재실제공업중적응용.교호적일충경도측시방법시통과전통현미경도계재불동적대재하하측득막기복합경도,동시건립괄당적모형계산출박막적본정경도치.차방법가능경괄합우상규응용.
