仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2006年
z2期
1435-1436
,共2页
郑静琳%李玉和%廖晓华%李庆祥
鄭靜琳%李玉和%廖曉華%李慶祥
정정림%리옥화%료효화%리경상
微位移%柔性铰链%有限元方法%平行板
微位移%柔性鉸鏈%有限元方法%平行闆
미위이%유성교련%유한원방법%평행판
微位移技术是精密机械与仪器的关键技术之一.本文介绍精密定位系统中的典型微位移机构,分析常用机构的特点及存在问题,并以平行板柔性铰链为基础,通过对其结构的优化,设计应用于扫描探针系统的二维定位工作台,并利用有限元方法对该工作台静态特性进行了仿真分析.
微位移技術是精密機械與儀器的關鍵技術之一.本文介紹精密定位繫統中的典型微位移機構,分析常用機構的特點及存在問題,併以平行闆柔性鉸鏈為基礎,通過對其結構的優化,設計應用于掃描探針繫統的二維定位工作檯,併利用有限元方法對該工作檯靜態特性進行瞭倣真分析.
미위이기술시정밀궤계여의기적관건기술지일.본문개소정밀정위계통중적전형미위이궤구,분석상용궤구적특점급존재문제,병이평행판유성교련위기출,통과대기결구적우화,설계응용우소묘탐침계통적이유정위공작태,병이용유한원방법대해공작태정태특성진행료방진분석.
