电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2008年
4期
33-37
,共5页
集成电路%电子束%离子束%光子束
集成電路%電子束%離子束%光子束
집성전로%전자속%리자속%광자속
集成电路制造工艺技术种类繁多.包括光刻、刻蚀、氧化、扩散、溅射、封装等.作为代表性的先进工艺技术是电子束、离子束和光子束加工技术,俗称三束技术.对三束技术做了介绍.
集成電路製造工藝技術種類繁多.包括光刻、刻蝕、氧化、擴散、濺射、封裝等.作為代錶性的先進工藝技術是電子束、離子束和光子束加工技術,俗稱三束技術.對三束技術做瞭介紹.
집성전로제조공예기술충류번다.포괄광각、각식、양화、확산、천사、봉장등.작위대표성적선진공예기술시전자속、리자속화광자속가공기술,속칭삼속기술.대삼속기술주료개소.
