人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2010年
2期
534-538
,共5页
胡燕伟%刘志东%田宗军%邱明波%汪炜%毕勇%黄因慧
鬍燕偉%劉誌東%田宗軍%邱明波%汪煒%畢勇%黃因慧
호연위%류지동%전종군%구명파%왕위%필용%황인혜
锗晶体%电火花线切割%钝化物
鍺晶體%電火花線切割%鈍化物
타정체%전화화선절할%둔화물
在利用电火花线切割(WEDM)加工锗晶体时,会出现回路放电电流逐渐减少,并伴随着进电材料与锗晶体间有钝化物的生成,最终导致放电切割无法延续.本实验对放电切割状态进行了实验模拟并生成了钝化物,运用XRD技术对钝化物进行了分析,提出了一种防范钝化物产生的方法,最后采用这种方法利用改进的线切割机床对N型锗进行了放电切割,高效稳定地加工出了工件,从而验证了这种防钝化物产生方法的可行性,为进一步提高锗晶体的放电加工工艺指标奠定了基础.
在利用電火花線切割(WEDM)加工鍺晶體時,會齣現迴路放電電流逐漸減少,併伴隨著進電材料與鍺晶體間有鈍化物的生成,最終導緻放電切割無法延續.本實驗對放電切割狀態進行瞭實驗模擬併生成瞭鈍化物,運用XRD技術對鈍化物進行瞭分析,提齣瞭一種防範鈍化物產生的方法,最後採用這種方法利用改進的線切割機床對N型鍺進行瞭放電切割,高效穩定地加工齣瞭工件,從而驗證瞭這種防鈍化物產生方法的可行性,為進一步提高鍺晶體的放電加工工藝指標奠定瞭基礎.
재이용전화화선절할(WEDM)가공타정체시,회출현회로방전전류축점감소,병반수착진전재료여타정체간유둔화물적생성,최종도치방전절할무법연속.본실험대방전절할상태진행료실험모의병생성료둔화물,운용XRD기술대둔화물진행료분석,제출료일충방범둔화물산생적방법,최후채용저충방법이용개진적선절할궤상대N형타진행료방전절할,고효은정지가공출료공건,종이험증료저충방둔화물산생방법적가행성,위진일보제고타정체적방전가공공예지표전정료기출.
