表面技术
錶麵技術
표면기술
SURFACE TECHNOLOGY
2011年
3期
48-51,56
,共5页
莫超超%李长生%晋跃%廖东候
莫超超%李長生%晉躍%廖東候
막초초%리장생%진약%료동후
TiWN/MoS2涂层%磁控溅射%微观结构%摩擦磨损性能
TiWN/MoS2塗層%磁控濺射%微觀結構%摩抆磨損性能
TiWN/MoS2도층%자공천사%미관결구%마찰마손성능
采用磁控溅射方法在40Gr不锈钢基体上,沉积了TiN及TiWN单层薄膜、TiN/MoS2及TiWN/MoS2双层薄膜,对比分析了薄膜的成分、相结构、微观形貌及摩擦学性能.结果表明:根据W含量的不同,TiWN薄膜中,Ti0.67W0.33N膜层具有较高的硬度和弹性模量;TiWN/MoS2薄膜中,TiWN层主要含有TiN和WN相,MoS2层含有MoS2和M0O3相;与TiN/MoS2薄膜比较,TiWN/M0S2薄膜具有更优异的减摩、耐磨性能,可减小材料的磨损,延长其使用寿命.
採用磁控濺射方法在40Gr不鏽鋼基體上,沉積瞭TiN及TiWN單層薄膜、TiN/MoS2及TiWN/MoS2雙層薄膜,對比分析瞭薄膜的成分、相結構、微觀形貌及摩抆學性能.結果錶明:根據W含量的不同,TiWN薄膜中,Ti0.67W0.33N膜層具有較高的硬度和彈性模量;TiWN/MoS2薄膜中,TiWN層主要含有TiN和WN相,MoS2層含有MoS2和M0O3相;與TiN/MoS2薄膜比較,TiWN/M0S2薄膜具有更優異的減摩、耐磨性能,可減小材料的磨損,延長其使用壽命.
채용자공천사방법재40Gr불수강기체상,침적료TiN급TiWN단층박막、TiN/MoS2급TiWN/MoS2쌍층박막,대비분석료박막적성분、상결구、미관형모급마찰학성능.결과표명:근거W함량적불동,TiWN박막중,Ti0.67W0.33N막층구유교고적경도화탄성모량;TiWN/MoS2박막중,TiWN층주요함유TiN화WN상,MoS2층함유MoS2화M0O3상;여TiN/MoS2박막비교,TiWN/M0S2박막구유경우이적감마、내마성능,가감소재료적마손,연장기사용수명.
