纳米技术与精密工程
納米技術與精密工程
납미기술여정밀공정
NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
2012年
1期
1-5
,共5页
赵新%郭春艳%张玮光%孙明竹%卢桂章
趙新%郭春豔%張瑋光%孫明竹%盧桂章
조신%곽춘염%장위광%손명죽%로계장
MEMS%亚像素%运动测量
MEMS%亞像素%運動測量
MEMS%아상소%운동측량
为实现对MEMS的高精度运动测量,采用了基于显微图像处理的运动测量方法.在该方法中,针对特定的MEMS器件,首先将其放置在显微镜下摄取其可动部位的运动录像,由运动录像获取显微图像序列；然后针对MEMS自身结构的特点,设计有效的显微图像处理方法提取其运动位移,由位移最终获取MEMS器件的运动轨迹.基于上述方法,以微加速度计为例,根据其结构和运动特点,提出一种具有亚像素级精度的像素平移法提取其运动位移,将稳态位移的检测结果与理论值对比,得到检测结果为理论值的90.21％.检测结果与理论值良好的一致性,初步验证了方法的有效性.
為實現對MEMS的高精度運動測量,採用瞭基于顯微圖像處理的運動測量方法.在該方法中,針對特定的MEMS器件,首先將其放置在顯微鏡下攝取其可動部位的運動錄像,由運動錄像穫取顯微圖像序列；然後針對MEMS自身結構的特點,設計有效的顯微圖像處理方法提取其運動位移,由位移最終穫取MEMS器件的運動軌跡.基于上述方法,以微加速度計為例,根據其結構和運動特點,提齣一種具有亞像素級精度的像素平移法提取其運動位移,將穩態位移的檢測結果與理論值對比,得到檢測結果為理論值的90.21％.檢測結果與理論值良好的一緻性,初步驗證瞭方法的有效性.
위실현대MEMS적고정도운동측량,채용료기우현미도상처리적운동측량방법.재해방법중,침대특정적MEMS기건,수선장기방치재현미경하섭취기가동부위적운동록상,유운동록상획취현미도상서렬；연후침대MEMS자신결구적특점,설계유효적현미도상처리방법제취기운동위이,유위이최종획취MEMS기건적운동궤적.기우상술방법,이미가속도계위례,근거기결구화운동특점,제출일충구유아상소급정도적상소평이법제취기운동위이,장은태위이적검측결과여이론치대비,득도검측결과위이론치적90.21％.검측결과여이론치량호적일치성,초보험증료방법적유효성.
