真空
真空
진공
VACUUM
2012年
2期
77-80
,共4页
佟莉娜%黄美东%孟凡宇%刘野%张学谦%王丽格%杜珊
佟莉娜%黃美東%孟凡宇%劉野%張學謙%王麗格%杜珊
동리나%황미동%맹범우%류야%장학겸%왕려격%두산
复合离子镀%AlTiN薄膜%表面形貌
複閤離子鍍%AlTiN薄膜%錶麵形貌
복합리자도%AlTiN박막%표면형모
本工作将阴极真空电弧沉积法和磁控溅射离子镀法结合形成复合镀膜工艺,即用电弧蒸发Ti靶的同时,用磁控溅射Al靶,并通入反应气体N2,以在高速钢基底上镀制AlTiN薄膜,考察了复合镀膜方法获得的AlTiN薄膜的表面形貌,并将其与单一法镀膜的表面形貌进行了对比分析.电弧离子镀制备的AlTiN薄膜表面颗粒很多,而且尺寸大,表面很粗糙,磁控溅射制备的AlTiN薄膜表面光滑平整,复合镀得到的AlTiN薄膜表面粗糙度介于二者之间,但从形貌上看,复合镀的薄膜呈现出典型的层状生长特征,在SEM下可清晰地看到表面的层状生长在部分区域不完全.测试发现,复合镀薄膜形貌并不是电弧镀和溅射镀薄膜形貌的简单混合,而是具有自身独特的特征,这可能是由于电弧弧光等离子体与溅射的辉光等离子体相互作用的结果.
本工作將陰極真空電弧沉積法和磁控濺射離子鍍法結閤形成複閤鍍膜工藝,即用電弧蒸髮Ti靶的同時,用磁控濺射Al靶,併通入反應氣體N2,以在高速鋼基底上鍍製AlTiN薄膜,攷察瞭複閤鍍膜方法穫得的AlTiN薄膜的錶麵形貌,併將其與單一法鍍膜的錶麵形貌進行瞭對比分析.電弧離子鍍製備的AlTiN薄膜錶麵顆粒很多,而且呎吋大,錶麵很粗糙,磁控濺射製備的AlTiN薄膜錶麵光滑平整,複閤鍍得到的AlTiN薄膜錶麵粗糙度介于二者之間,但從形貌上看,複閤鍍的薄膜呈現齣典型的層狀生長特徵,在SEM下可清晰地看到錶麵的層狀生長在部分區域不完全.測試髮現,複閤鍍薄膜形貌併不是電弧鍍和濺射鍍薄膜形貌的簡單混閤,而是具有自身獨特的特徵,這可能是由于電弧弧光等離子體與濺射的輝光等離子體相互作用的結果.
본공작장음겁진공전호침적법화자공천사리자도법결합형성복합도막공예,즉용전호증발Ti파적동시,용자공천사Al파,병통입반응기체N2,이재고속강기저상도제AlTiN박막,고찰료복합도막방법획득적AlTiN박막적표면형모,병장기여단일법도막적표면형모진행료대비분석.전호리자도제비적AlTiN박막표면과립흔다,이차척촌대,표면흔조조,자공천사제비적AlTiN박막표면광활평정,복합도득도적AlTiN박막표면조조도개우이자지간,단종형모상간,복합도적박막정현출전형적층상생장특정,재SEM하가청석지간도표면적층상생장재부분구역불완전.측시발현,복합도박막형모병불시전호도화천사도박막형모적간단혼합,이시구유자신독특적특정,저가능시유우전호호광등리자체여천사적휘광등리자체상호작용적결과.
