科技信息
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과기신식
SCIENTIFIC & TECHNICAL INFORMATION
2012年
25期
148,183
,共2页
热蒸发%铝膜%退火处理%X射线衍射
熱蒸髮%鋁膜%退火處理%X射線衍射
열증발%려막%퇴화처리%X사선연사
采用金属铝片作为靶材,用热蒸发镀膜的方法,在玻璃基体上制备金属铝膜样品,样品再经过不同条件下的退火处理.X射线衍射检测分析表明:热蒸发法在玻璃基底上能够制备生成金属铝膜.退火处理后依然是金属铝膜,薄膜样品中没有氧化物成分.金属铝膜主要有两种结构成分,部分为非晶结构,部分为单晶结构晶体,薄膜形貌呈准直阵列状的结构.
採用金屬鋁片作為靶材,用熱蒸髮鍍膜的方法,在玻璃基體上製備金屬鋁膜樣品,樣品再經過不同條件下的退火處理.X射線衍射檢測分析錶明:熱蒸髮法在玻璃基底上能夠製備生成金屬鋁膜.退火處理後依然是金屬鋁膜,薄膜樣品中沒有氧化物成分.金屬鋁膜主要有兩種結構成分,部分為非晶結構,部分為單晶結構晶體,薄膜形貌呈準直陣列狀的結構.
채용금속려편작위파재,용열증발도막적방법,재파리기체상제비금속려막양품,양품재경과불동조건하적퇴화처리.X사선연사검측분석표명:열증발법재파리기저상능구제비생성금속려막.퇴화처리후의연시금속려막,박막양품중몰유양화물성분.금속려막주요유량충결구성분,부분위비정결구,부분위단정결구정체,박막형모정준직진렬상적결구.
