科学与财富
科學與財富
과학여재부
SCIENCES & WEALTH
2013年
8期
110-110
,共1页
甄良欣%刘凯%陈京涛
甄良訢%劉凱%陳京濤
견량흔%류개%진경도
硅晶体氧含量%计算机仿真%坩埚转速%坩埚位置%氩气流量
硅晶體氧含量%計算機倣真%坩堝轉速%坩堝位置%氬氣流量
규정체양함량%계산궤방진%감과전속%감과위치%아기류량
单晶硅氧含量的高低，直接影响其OSF缺陷、单晶硅电池的衰减系数、效率[1]。直拉单晶工艺使用的石英埚和硅熔液的反应，决定了直拉单晶硅棒氧含量处于较高的水平，尤其是单晶硅棒头部，影响了晶体质量。本文通过计算机模拟仿真，结合工艺试验，研究氩气流量、坩埚转速、坩埚位置对晶体氧含量的影响。
單晶硅氧含量的高低，直接影響其OSF缺陷、單晶硅電池的衰減繫數、效率[1]。直拉單晶工藝使用的石英堝和硅鎔液的反應，決定瞭直拉單晶硅棒氧含量處于較高的水平，尤其是單晶硅棒頭部，影響瞭晶體質量。本文通過計算機模擬倣真，結閤工藝試驗，研究氬氣流量、坩堝轉速、坩堝位置對晶體氧含量的影響。
단정규양함량적고저，직접영향기OSF결함、단정규전지적쇠감계수、효솔[1]。직랍단정공예사용적석영과화규용액적반응，결정료직랍단정규봉양함량처우교고적수평，우기시단정규봉두부，영향료정체질량。본문통과계산궤모의방진，결합공예시험，연구아기류량、감과전속、감과위치대정체양함량적영향。
