四川大学学报（自然科学版）
四川大學學報（自然科學版）
사천대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SICHUAN UNIVERSITY（NATURAL SCIENCE EDITION）
2014年
3期
527-532
,共6页
祝祖送%张杰%江贵生%尹训昌%余春日
祝祖送%張傑%江貴生%尹訓昌%餘春日
축조송%장걸%강귀생%윤훈창%여춘일
等离子体参数%数值模拟%径向分布%PECVD
等離子體參數%數值模擬%徑嚮分佈%PECVD
등리자체삼수%수치모의%경향분포%PECVD
Plasma parameters%Numerical simulation%Radial distribution%PECVD
分别通过Langmuir静电探针测量和数值模拟方法研究了等离子体增强化学气相沉积系统中氩等离子体中电子密度和电子平均能量的径向分布规律.实验结果表明:从放电中心到电极边缘方向,电子密度和电子平均能量呈逐渐增大的趋势.数值模拟结果和Langmuir静电探针测量结果符合得较好.
分彆通過Langmuir靜電探針測量和數值模擬方法研究瞭等離子體增彊化學氣相沉積繫統中氬等離子體中電子密度和電子平均能量的徑嚮分佈規律.實驗結果錶明:從放電中心到電極邊緣方嚮,電子密度和電子平均能量呈逐漸增大的趨勢.數值模擬結果和Langmuir靜電探針測量結果符閤得較好.
분별통과Langmuir정전탐침측량화수치모의방법연구료등리자체증강화학기상침적계통중아등리자체중전자밀도화전자평균능량적경향분포규률.실험결과표명:종방전중심도전겁변연방향,전자밀도화전자평균능량정축점증대적추세.수치모의결과화Langmuir정전탐침측량결과부합득교호.
