发光学报
髮光學報
발광학보
CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
2013年
7期
935-939
,共5页
郑改革%詹煜%曹焜%徐林华
鄭改革%詹煜%曹焜%徐林華
정개혁%첨욱%조혼%서림화
亚波长金属光栅%纳米压印%表面等离子体
亞波長金屬光柵%納米壓印%錶麵等離子體
아파장금속광책%납미압인%표면등리자체
subwavelength metallic gratings%nanoimprint%surface plasmon
利用纳米压印结合溅射和反应离子刻蚀工艺制备了周期为1μm、占空比为0.2的亚波长金属光栅,利用紫外-可见-近红外光谱仪测量了光栅的0级反射光谱.在严格耦合波分析的基础上,把光栅区域电磁场的空间谐波通过勒让德多项式展开,使用多项式展开的谱分析法求解常微分方程,计算了该亚波长金属光栅的反射光谱及磁场分布.实验测量结果同矢量衍射理论计算结果都显示,该光栅在近红外、中红外波段具有表面等离子体共振现象.数值计算结果还表明,对于此类亚波长金属光栅,当光栅的深宽比增加时,其反射光谱中会出现更多的反射谷.
利用納米壓印結閤濺射和反應離子刻蝕工藝製備瞭週期為1μm、佔空比為0.2的亞波長金屬光柵,利用紫外-可見-近紅外光譜儀測量瞭光柵的0級反射光譜.在嚴格耦閤波分析的基礎上,把光柵區域電磁場的空間諧波通過勒讓德多項式展開,使用多項式展開的譜分析法求解常微分方程,計算瞭該亞波長金屬光柵的反射光譜及磁場分佈.實驗測量結果同矢量衍射理論計算結果都顯示,該光柵在近紅外、中紅外波段具有錶麵等離子體共振現象.數值計算結果還錶明,對于此類亞波長金屬光柵,噹光柵的深寬比增加時,其反射光譜中會齣現更多的反射穀.
이용납미압인결합천사화반응리자각식공예제비료주기위1μm、점공비위0.2적아파장금속광책,이용자외-가견-근홍외광보의측량료광책적0급반사광보.재엄격우합파분석적기출상,파광책구역전자장적공간해파통과륵양덕다항식전개,사용다항식전개적보분석법구해상미분방정,계산료해아파장금속광책적반사광보급자장분포.실험측량결과동시량연사이론계산결과도현시,해광책재근홍외、중홍외파단구유표면등리자체공진현상.수치계산결과환표명,대우차류아파장금속광책,당광책적심관비증가시,기반사광보중회출현경다적반사곡.
