CAJ | 학술논문

为解决双向喇叭形金属微小孔阵列的高效低成本制造难题,提出了一种基于镂空型惰性金属模板的、由电铸加工与掩模电解加工步骤串接而成的组合式加工方法.基于建立的数学模型,在证实该组合加工可行性的基础上,进一步仿真分析与试验研究了惰性金属模板结构参数对被加工孔阵列几何结构形状的影响规律,并进行了参数优选,数值分析与试验结果基本一致.研究结果表明:被加工孔阵列的几何特征参数严重受惰性金属模板结构参数的影响;采用大厚度、大于90°开口角的惰性金属模板有利于获得最小孔径更小且出入口廓形对称性更好的双向喇叭形孔;模板筋宽越小,越易于实现大孔深、高对称性的双向喇叭孔;模板孔径越大,喇叭孔金属层的极限厚度越大,但出入口廓形的对称性越差.此外,在小筋宽、90°开口角的惰性金属模板上更易电解加工生成“(O)”形喇叭孔.基于优化的惰性金属模板,能电铸电解组合加工出出入口廓形对称性好的、最小孔径比被复制模板孔小的、网片厚度大且表面光滑的双向喇叭形金属微小孔阵列,其进出口的对称度、孔径偏差与出口相对于最小孔径的扩口率等分别为88.8％、9.7％和110.1％.
위해결쌍향나팔형금속미소공진렬적고효저성본제조난제,제출료일충기우루공형타성금속모판적、유전주가공여엄모전해가공보취천접이성적조합식가공방법.기우건립적수학모형,재증실해조합가공가행성적기출상,진일보방진분석여시험연구료타성금속모판결구삼수대피가공공진렬궤하결구형상적영향규률,병진행료삼수우선,수치분석여시험결과기본일치.연구결과표명:피가공공진렬적궤하특정삼수엄중수타성금속모판결구삼수적영향;채용대후도、대우90°개구각적타성금속모판유리우획득최소공경경소차출입구곽형대칭성경호적쌍향나팔형공;모판근관월소,월역우실현대공심、고대칭성적쌍향나팔공;모판공경월대,나팔공금속층적겁한후도월대,단출입구곽형적대칭성월차.차외,재소근관、90°개구각적타성금속모판상경역전해가공생성“(O)”형나팔공.기우우화적타성금속모판,능전주전해조합가공출출입구곽형대칭성호적、최소공경비피복제모판공소적、망편후도대차표면광활적쌍향나팔형금속미소공진렬,기진출구적대칭도、공경편차여출구상대우최소공경적확구솔등분별위88.8％、9.7％화110.1％.