功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2013年
13期
1908-1911
,共4页
张旭海%巫亮%曾宇乔%李凡%徐笑%李想%武小冕%蒋建清
張旭海%巫亮%曾宇喬%李凡%徐笑%李想%武小冕%蔣建清
장욱해%무량%증우교%리범%서소%리상%무소면%장건청
CrN/Ag涂层%磁控溅射%热处理%氧化%硬度%Ag溢出
CrN/Ag塗層%磁控濺射%熱處理%氧化%硬度%Ag溢齣
CrN/Ag도층%자공천사%열처리%양화%경도%Ag일출
CrN/Ag thin coatings%magnetron sputtering%heat treatment%oxidation%hardness%Ag diffusion
为研究高温下掺入Ag的CrN涂层的组织性能,在沉积温度为800℃的条件下采用直流反应磁控溅射技术制备CrN/Ag硬质涂层.采用扫描电镜(SEM)、EDS能谱仪、X射线衍射(XRD)和维氏硬度计,综合分析了800℃沉积温度下,对不同Ag掺杂情况下CrN/Ag涂层的组织结构和性能特点,以及700℃热处理工艺对其的影响.结果表明,Ag添加导致CrN晶相生长由(200)择优取向向无择优取向转变,并使得CrN/Ag涂层表面粗糙化;少量Ag(7％(原子分数))添加可提高涂层硬度,过多Ag(21％(原子分数))添加明显降低涂层硬度;高温热处理(700℃/1h)后,纯CrN涂层的氧化并不明显,但是,随Ag含量增加,涂层氧化程度逐渐增加,且在高Ag(21％(原子分数))涂层中Ag溢出现象显著;涂层氧化及Ag溢出导致涂层硬度显著降低.
為研究高溫下摻入Ag的CrN塗層的組織性能,在沉積溫度為800℃的條件下採用直流反應磁控濺射技術製備CrN/Ag硬質塗層.採用掃描電鏡(SEM)、EDS能譜儀、X射線衍射(XRD)和維氏硬度計,綜閤分析瞭800℃沉積溫度下,對不同Ag摻雜情況下CrN/Ag塗層的組織結構和性能特點,以及700℃熱處理工藝對其的影響.結果錶明,Ag添加導緻CrN晶相生長由(200)擇優取嚮嚮無擇優取嚮轉變,併使得CrN/Ag塗層錶麵粗糙化;少量Ag(7％(原子分數))添加可提高塗層硬度,過多Ag(21％(原子分數))添加明顯降低塗層硬度;高溫熱處理(700℃/1h)後,純CrN塗層的氧化併不明顯,但是,隨Ag含量增加,塗層氧化程度逐漸增加,且在高Ag(21％(原子分數))塗層中Ag溢齣現象顯著;塗層氧化及Ag溢齣導緻塗層硬度顯著降低.
위연구고온하참입Ag적CrN도층적조직성능,재침적온도위800℃적조건하채용직류반응자공천사기술제비CrN/Ag경질도층.채용소묘전경(SEM)、EDS능보의、X사선연사(XRD)화유씨경도계,종합분석료800℃침적온도하,대불동Ag참잡정황하CrN/Ag도층적조직결구화성능특점,이급700℃열처리공예대기적영향.결과표명,Ag첨가도치CrN정상생장유(200)택우취향향무택우취향전변,병사득CrN/Ag도층표면조조화;소량Ag(7％(원자분수))첨가가제고도층경도,과다Ag(21％(원자분수))첨가명현강저도층경도;고온열처리(700℃/1h)후,순CrN도층적양화병불명현,단시,수Ag함량증가,도층양화정도축점증가,차재고Ag(21％(원자분수))도층중Ag일출현상현저;도층양화급Ag일출도치도층경도현저강저.
