自动化仪表
自動化儀錶
자동화의표
PROCESS AUTOMATION INSTRUMENTATION
2013年
8期
61-63,66
,共4页
余卿%崔长彩%范伟%叶瑞芳
餘卿%崔長綵%範偉%葉瑞芳
여경%최장채%범위%협서방
并行共焦测量%测量效率%数字微镜器件%空间光调制%点光源阵列%柔性
併行共焦測量%測量效率%數字微鏡器件%空間光調製%點光源陣列%柔性
병행공초측량%측량효솔%수자미경기건%공간광조제%점광원진렬%유성
Parallel confocal measurement%Measurement efficiency%Digital micromirror device(DMD)%Spatial light modulation%Point light array%Flexibility
激光共焦测量采用并行的方式可以有效提高测量效率,但用于并行共焦测量的光分束器件普遍存在制作困难、价格偏高的不足.从数字微镜器件的空间光调制机理入手,主要研究数字微镜器的控制方法,通过构建任意所需的点光源阵列,实现了并行共焦测量.结果表明,测量装置可根据不同的被测物便捷地更换点光源参数；测量装置具有很好的柔性,且测量误差小.
激光共焦測量採用併行的方式可以有效提高測量效率,但用于併行共焦測量的光分束器件普遍存在製作睏難、價格偏高的不足.從數字微鏡器件的空間光調製機理入手,主要研究數字微鏡器的控製方法,通過構建任意所需的點光源陣列,實現瞭併行共焦測量.結果錶明,測量裝置可根據不同的被測物便捷地更換點光源參數；測量裝置具有很好的柔性,且測量誤差小.
격광공초측량채용병행적방식가이유효제고측량효솔,단용우병행공초측량적광분속기건보편존재제작곤난、개격편고적불족.종수자미경기건적공간광조제궤리입수,주요연구수자미경기적공제방법,통과구건임의소수적점광원진렬,실현료병행공초측량.결과표명,측량장치가근거불동적피측물편첩지경환점광원삼수；측량장치구유흔호적유성,차측량오차소.
