热加工工艺
熱加工工藝
열가공공예
HOT WORKING TECHNOLOGY
2013年
14期
97-99
,共3页
赵齐%代明江%韦春贝%邱万奇
趙齊%代明江%韋春貝%邱萬奇
조제%대명강%위춘패%구만기
金刚石薄膜%热丝CVD%钛过渡层%研磨预处理
金剛石薄膜%熱絲CVD%鈦過渡層%研磨預處理
금강석박막%열사CVD%태과도층%연마예처리
diamond films%hot filament chemical vapor deposition%buffer layer of titanium%abrading pretreatment
以紫铜为基体,采用热丝CVD法合成金刚石薄膜,研究了钛过渡层及研磨金刚石粉(俗称“种植晶仔”)预处理对金刚石薄膜生长状态的影响.用X射线(XRD)、拉曼光谱、扫描电镜(SEM)对所沉积的金刚石薄膜进行了研究.研究发现:活性钛金属过渡层有利于金刚石的形核,而且也提高了成膜质量；“种植晶仔”预处理有利于金刚石形核,而且减少了非晶碳的形成.
以紫銅為基體,採用熱絲CVD法閤成金剛石薄膜,研究瞭鈦過渡層及研磨金剛石粉(俗稱“種植晶仔”)預處理對金剛石薄膜生長狀態的影響.用X射線(XRD)、拉曼光譜、掃描電鏡(SEM)對所沉積的金剛石薄膜進行瞭研究.研究髮現:活性鈦金屬過渡層有利于金剛石的形覈,而且也提高瞭成膜質量；“種植晶仔”預處理有利于金剛石形覈,而且減少瞭非晶碳的形成.
이자동위기체,채용열사CVD법합성금강석박막,연구료태과도층급연마금강석분(속칭“충식정자”)예처리대금강석박막생장상태적영향.용X사선(XRD)、랍만광보、소묘전경(SEM)대소침적적금강석박막진행료연구.연구발현:활성태금속과도층유리우금강석적형핵,이차야제고료성막질량；“충식정자”예처리유리우금강석형핵,이차감소료비정탄적형성.
