黑龙江科技信息
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흑룡강과기신식
HEILONGJIANG SCIENCE AND TECHNOLOGY INFORMATION
2013年
11期
30
,共1页
陈薇薇%岳冬辉%杜忠奎%李道胜%田雷
陳薇薇%嶽鼕輝%杜忠奎%李道勝%田雷
진미미%악동휘%두충규%리도성%전뢰
磁控溅射%ZnO薄膜%Cu夹层
磁控濺射%ZnO薄膜%Cu夾層
자공천사%ZnO박막%Cu협층
采用磁控溅射技术在玻璃基底上制备出了ZnO/Cu/ZnO、ZnO/Cu、ZnO单层三种透明导电薄膜,利用几种表征手段分析了Cu层位置对ZnO薄膜的结构形貌、光电性能的影响.结果表明,Cu层的加入会降低薄膜的透射率和提高导电性,其中ZnO/Cu/ZnO结构的透射率略高,ZnO/Cu结构的电阻率最低.
採用磁控濺射技術在玻璃基底上製備齣瞭ZnO/Cu/ZnO、ZnO/Cu、ZnO單層三種透明導電薄膜,利用幾種錶徵手段分析瞭Cu層位置對ZnO薄膜的結構形貌、光電性能的影響.結果錶明,Cu層的加入會降低薄膜的透射率和提高導電性,其中ZnO/Cu/ZnO結構的透射率略高,ZnO/Cu結構的電阻率最低.
채용자공천사기술재파리기저상제비출료ZnO/Cu/ZnO、ZnO/Cu、ZnO단층삼충투명도전박막,이용궤충표정수단분석료Cu층위치대ZnO박막적결구형모、광전성능적영향.결과표명,Cu층적가입회강저박막적투사솔화제고도전성,기중ZnO/Cu/ZnO결구적투사솔략고,ZnO/Cu결구적전조솔최저.
