应用光学
應用光學
응용광학
JOURNAL OF APPLIED OPTICS
2013年
4期
706-710,722
,共6页
王东辉%刘林%李秉实%包艳%郑普超%张兵%张超
王東輝%劉林%李秉實%包豔%鄭普超%張兵%張超
왕동휘%류림%리병실%포염%정보초%장병%장초
线位移传感器%变栅距闪耀光栅%衍射强度
線位移傳感器%變柵距閃耀光柵%衍射彊度
선위이전감기%변책거섬요광책%연사강도
linear displacement sensor%varied line-space blazed grating%diffraction intensity
变栅距光栅线位移传感器是一种新型波长编码位移传感器,为进一步提高传感器波长解调的精度和减小光源的体积,提出适用于全工作波段的恒定闪耀角变栅距光栅结构.首先采用经典光学的方法推导出变栅距闪耀光栅衍射强度分布公式,从理论上证明该光栅结构可实现在全工作波段提高变栅距光栅线位移传感器衍射光强.此外,制作出变栅距闪耀光栅样件证实了工艺可行性.在相同的条件下,对一组参数相同的闪耀光栅和矩形槽形光栅进行了衍射光强比对实验,得到变栅距闪耀光栅的衍射光强约为矩形变栅距光栅的衍射光强的1.7倍,并与按此衍射光强分布公式计算的结果一致.
變柵距光柵線位移傳感器是一種新型波長編碼位移傳感器,為進一步提高傳感器波長解調的精度和減小光源的體積,提齣適用于全工作波段的恆定閃耀角變柵距光柵結構.首先採用經典光學的方法推導齣變柵距閃耀光柵衍射彊度分佈公式,從理論上證明該光柵結構可實現在全工作波段提高變柵距光柵線位移傳感器衍射光彊.此外,製作齣變柵距閃耀光柵樣件證實瞭工藝可行性.在相同的條件下,對一組參數相同的閃耀光柵和矩形槽形光柵進行瞭衍射光彊比對實驗,得到變柵距閃耀光柵的衍射光彊約為矩形變柵距光柵的衍射光彊的1.7倍,併與按此衍射光彊分佈公式計算的結果一緻.
변책거광책선위이전감기시일충신형파장편마위이전감기,위진일보제고전감기파장해조적정도화감소광원적체적,제출괄용우전공작파단적항정섬요각변책거광책결구.수선채용경전광학적방법추도출변책거섬요광책연사강도분포공식,종이론상증명해광책결구가실현재전공작파단제고변책거광책선위이전감기연사광강.차외,제작출변책거섬요광책양건증실료공예가행성.재상동적조건하,대일조삼수상동적섬요광책화구형조형광책진행료연사광강비대실험,득도변책거섬요광책적연사광강약위구형변책거광책적연사광강적1.7배,병여안차연사광강분포공식계산적결과일치.
