应用光学
應用光學
응용광학
JOURNAL OF APPLIED OPTICS
2013年
4期
695-699
,共5页
张建付%杨崇民%刘青龙%王养云%谢辉%黎明%刘永强%杨华梅%米高园
張建付%楊崇民%劉青龍%王養雲%謝輝%黎明%劉永彊%楊華梅%米高園
장건부%양숭민%류청룡%왕양운%사휘%려명%류영강%양화매%미고완
宽带通滤光片%膜厚控制精度%膜层总厚度
寬帶通濾光片%膜厚控製精度%膜層總厚度
관대통려광편%막후공제정도%막층총후도
broad band pass filter%film thickness control accuracy%total thickness of film layers
中波红外宽带通滤光膜通常膜系层数多,膜层总厚度非常大(厚度达到10 μm左右),膜层的镀制工艺难度较大.通过分析红外带通滤光片几种设计方法的特点,并结合实际镀制工艺技术,采用了长波通与短波通及非规整薄膜设计技术相结合的方法,设计了以锗材料为基底的中波3 μm～5 μm宽带通滤光膜.该设计大幅度降低了膜层的总厚度(约为8.65 μm),缩短了膜层的镀制周期,提高了膜层的牢固度;在膜层的镀制工艺过程中,通过改变薄膜材料的蒸发速率、修正蒸发硫化锌材料时电子枪的扫描方式、调整蒸发材料在坩埚中的装载方法,使膜层获得了优异的光谱性能,其通带平均透过率大于96％,截止区域的平均透过率小于1％.
中波紅外寬帶通濾光膜通常膜繫層數多,膜層總厚度非常大(厚度達到10 μm左右),膜層的鍍製工藝難度較大.通過分析紅外帶通濾光片幾種設計方法的特點,併結閤實際鍍製工藝技術,採用瞭長波通與短波通及非規整薄膜設計技術相結閤的方法,設計瞭以鍺材料為基底的中波3 μm～5 μm寬帶通濾光膜.該設計大幅度降低瞭膜層的總厚度(約為8.65 μm),縮短瞭膜層的鍍製週期,提高瞭膜層的牢固度;在膜層的鍍製工藝過程中,通過改變薄膜材料的蒸髮速率、脩正蒸髮硫化鋅材料時電子鎗的掃描方式、調整蒸髮材料在坩堝中的裝載方法,使膜層穫得瞭優異的光譜性能,其通帶平均透過率大于96％,截止區域的平均透過率小于1％.
중파홍외관대통려광막통상막계층수다,막층총후도비상대(후도체도10 μm좌우),막층적도제공예난도교대.통과분석홍외대통려광편궤충설계방법적특점,병결합실제도제공예기술,채용료장파통여단파통급비규정박막설계기술상결합적방법,설계료이타재료위기저적중파3 μm～5 μm관대통려광막.해설계대폭도강저료막층적총후도(약위8.65 μm),축단료막층적도제주기,제고료막층적뢰고도;재막층적도제공예과정중,통과개변박막재료적증발속솔、수정증발류화자재료시전자창적소묘방식、조정증발재료재감과중적장재방법,사막층획득료우이적광보성능,기통대평균투과솔대우96％,절지구역적평균투과솔소우1％.
