应用光学
應用光學
응용광학
JOURNAL OF APPLIED OPTICS
2013年
4期
639-643
,共5页
吴世霞%田爱玲%刘丙才%张鹏飞
吳世霞%田愛玲%劉丙纔%張鵬飛
오세하%전애령%류병재%장붕비
光学测量%子孔径拼接%平面绝对检验%三平面互检
光學測量%子孔徑拼接%平麵絕對檢驗%三平麵互檢
광학측량%자공경병접%평면절대검험%삼평면호검
optical measurement%sub-aperture stitching%plane absolute test%three-flat test
为了提高大口径光学元件子孔径拼接测量的检测精度,提出一种平面绝对测量技术,修正子孔径拼接过程中产生的系统误差.利用改进的三面互检法获得参考平面的面形数据,采用这些测量数据构建基于Zernike多项式的参考面面形误差修正波面,在拼接过程中运用误差修正波面对获得的子孔径测量数据进行实时修正,并与全口径直接测量结果进行对比,结果PV(peak value,PV,峰谷值)误差从0.072 1λ减少到0.028 6λ.结果表明该方法有效减少了参考平面系统误差对拼接测量精度的影响,提高了大口径光学元件的检测精度.
為瞭提高大口徑光學元件子孔徑拼接測量的檢測精度,提齣一種平麵絕對測量技術,脩正子孔徑拼接過程中產生的繫統誤差.利用改進的三麵互檢法穫得參攷平麵的麵形數據,採用這些測量數據構建基于Zernike多項式的參攷麵麵形誤差脩正波麵,在拼接過程中運用誤差脩正波麵對穫得的子孔徑測量數據進行實時脩正,併與全口徑直接測量結果進行對比,結果PV(peak value,PV,峰穀值)誤差從0.072 1λ減少到0.028 6λ.結果錶明該方法有效減少瞭參攷平麵繫統誤差對拼接測量精度的影響,提高瞭大口徑光學元件的檢測精度.
위료제고대구경광학원건자공경병접측량적검측정도,제출일충평면절대측량기술,수정자공경병접과정중산생적계통오차.이용개진적삼면호검법획득삼고평면적면형수거,채용저사측량수거구건기우Zernike다항식적삼고면면형오차수정파면,재병접과정중운용오차수정파면대획득적자공경측량수거진행실시수정,병여전구경직접측량결과진행대비,결과PV(peak value,PV,봉곡치)오차종0.072 1λ감소도0.028 6λ.결과표명해방법유효감소료삼고평면계통오차대병접측량정도적영향,제고료대구경광학원건적검측정도.
