真空
真空
진공
VACUUM
2013年
4期
78-82
,共5页
真空夹具%光学元件%防护层%光学加工
真空夾具%光學元件%防護層%光學加工
진공협구%광학원건%방호층%광학가공
vacuum fixture%optical lens%protective layer%optical processing
为了在光学加工中快速、可靠地装夹光学元件,设计了真空夹具,对该真空夹具引起光学元件变形量进行了分析.首先,根据光学加工对夹具的要求,应用手动静压快速夹头以及传统真空吸盘结构,设计了真空夹具；接着,对真空夹具引起光学元件变形量进行了仿真分析,并根据分析结果改进了真空夹具结构；最后,针对改进后的真空夹具进行了仿真验证.仿真结果表明:有防护层的真空夹具引起光学元件表面最大变形量在0.1 μm～0.32 μm之间,是没有防护层的真空夹具引起光学元件表面最大变形量的1/14.该种真空夹具可以应用于高精度光学加工中.
為瞭在光學加工中快速、可靠地裝夾光學元件,設計瞭真空夾具,對該真空夾具引起光學元件變形量進行瞭分析.首先,根據光學加工對夾具的要求,應用手動靜壓快速夾頭以及傳統真空吸盤結構,設計瞭真空夾具；接著,對真空夾具引起光學元件變形量進行瞭倣真分析,併根據分析結果改進瞭真空夾具結構；最後,針對改進後的真空夾具進行瞭倣真驗證.倣真結果錶明:有防護層的真空夾具引起光學元件錶麵最大變形量在0.1 μm～0.32 μm之間,是沒有防護層的真空夾具引起光學元件錶麵最大變形量的1/14.該種真空夾具可以應用于高精度光學加工中.
위료재광학가공중쾌속、가고지장협광학원건,설계료진공협구,대해진공협구인기광학원건변형량진행료분석.수선,근거광학가공대협구적요구,응용수동정압쾌속협두이급전통진공흡반결구,설계료진공협구；접착,대진공협구인기광학원건변형량진행료방진분석,병근거분석결과개진료진공협구결구；최후,침대개진후적진공협구진행료방진험증.방진결과표명:유방호층적진공협구인기광학원건표면최대변형량재0.1 μm～0.32 μm지간,시몰유방호층적진공협구인기광학원건표면최대변형량적1/14.해충진공협구가이응용우고정도광학가공중.
