真空
真空
진공
VACUUM
2013年
4期
53-57
,共5页
郭帅%周旭%池华敬%王双%陈革%章其初
郭帥%週旭%池華敬%王雙%陳革%章其初
곽수%주욱%지화경%왕쌍%진혁%장기초
真空室%复合分子泵%抽速测量%质量流量计%真空计
真空室%複閤分子泵%抽速測量%質量流量計%真空計
진공실%복합분자빙%추속측량%질량류량계%진공계
vacuum chamber%hybrid molecular pump%pumping speed measurement%mass flow meter%vacuum gauge
本工作研制了一台采用流量计测量复合分子泵抽速的装置.本装置由测试台车、机柜、计算机自动控制和数据采集处理系统三部分组成.选用3个高精度流量计,满量程分别为1000 sccm、100 sccm和10 sccm,并联组成流量计组件用于测量输入气体的流量,选用高精度的复合真空计测量真空测试罩内气压.抽速测试结果显示,一台1200 L/s的复合分子泵N2抽速重复测量5次,14个气压测试点对应的抽速的最大相对标准偏差小于2％,重复性好.抽速测量的误差主要由流量计和真空计的系统误差决定.采用流量计测量一台分子泵在气压2.00×10-3 Pa～2.00 Pa范围的抽速,测量时间20 min以内.
本工作研製瞭一檯採用流量計測量複閤分子泵抽速的裝置.本裝置由測試檯車、機櫃、計算機自動控製和數據採集處理繫統三部分組成.選用3箇高精度流量計,滿量程分彆為1000 sccm、100 sccm和10 sccm,併聯組成流量計組件用于測量輸入氣體的流量,選用高精度的複閤真空計測量真空測試罩內氣壓.抽速測試結果顯示,一檯1200 L/s的複閤分子泵N2抽速重複測量5次,14箇氣壓測試點對應的抽速的最大相對標準偏差小于2％,重複性好.抽速測量的誤差主要由流量計和真空計的繫統誤差決定.採用流量計測量一檯分子泵在氣壓2.00×10-3 Pa～2.00 Pa範圍的抽速,測量時間20 min以內.
본공작연제료일태채용류량계측량복합분자빙추속적장치.본장치유측시태차、궤거、계산궤자동공제화수거채집처리계통삼부분조성.선용3개고정도류량계,만량정분별위1000 sccm、100 sccm화10 sccm,병련조성류량계조건용우측량수입기체적류량,선용고정도적복합진공계측량진공측시조내기압.추속측시결과현시,일태1200 L/s적복합분자빙N2추속중복측량5차,14개기압측시점대응적추속적최대상대표준편차소우2％,중복성호.추속측량적오차주요유류량계화진공계적계통오차결정.채용류량계측량일태분자빙재기압2.00×10-3 Pa～2.00 Pa범위적추속,측량시간20 min이내.
