CoSiN薄膜的制备
CoSiN박막적제비
Preparation of CoSiN Films
  • 万方数据
    安顺学院学报 안순학원학보
    JOURNAL OF ANSHUN COLLEGE
    2013年 4期 115-116,129 ,共3页

    张在玉%陈秀华%冯春杰

    장재옥%진수화%풍춘걸

    磁控溅射%CoN和SiN薄膜%CoSiN薄膜 磁控濺射%CoN和SiN薄膜%CoSiN薄膜
    자공천사%CoN화SiN박막%CoSiN박막
    文章采用磁控溅射的方法在n型硅基底上制备了CoN和SiN薄膜,再用薄膜测厚仪和四探针测试仪(EPP)测出样品的厚度及方块电阻,得到制备CoN和SiN薄膜的优化条件,然后由CoN和SiN薄膜制备出CoSiN薄膜.
    문장채용자공천사적방법재n형규기저상제비료CoN화SiN박막,재용박막측후의화사탐침측시의(EPP)측출양품적후도급방괴전조,득도제비CoN화SiN박막적우화조건,연후유CoN화SiN박막제비출CoSiN박막.
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