太赫兹科学与电子信息学报
太赫玆科學與電子信息學報
태혁자과학여전자신식학보
Information and Electronic Engineering
2013年
4期
527-530
,共4页
李含雁%白国栋%李兴辉%唐烨%冯进军
李含雁%白國棟%李興輝%唐燁%馮進軍
리함안%백국동%리흥휘%당엽%풍진군
紫外光刻%电铸和注塑技术%SU8胶模%曝光量%340 GHz折叠波导
紫外光刻%電鑄和註塑技術%SU8膠模%曝光量%340 GHz摺疊波導
자외광각%전주화주소기술%SU8효모%폭광량%340 GHz절첩파도
Ultraviolet Lithographie,Galvanoformung and Abformung technique%SU8%exposure dosage%340 GHz Folded Waveguide
紫外光刻、电铸和注塑(UV-LIGA)技术是制作太赫兹真空电子器件(包括谐振腔、电子注通道和输出波导等)的重要方法。采用 UV-LIGA技术制作340 GHz折叠波导慢波结构，研究前烘、曝光量、后烘对 SU8胶模的影响，着重讨论了曝光量的影响并分析其原因，得出最佳工艺。另外，本文还对去胶进行了初步研究，获得了全铜的340 GHz的折叠波导结构。
紫外光刻、電鑄和註塑(UV-LIGA)技術是製作太赫玆真空電子器件(包括諧振腔、電子註通道和輸齣波導等)的重要方法。採用 UV-LIGA技術製作340 GHz摺疊波導慢波結構，研究前烘、曝光量、後烘對 SU8膠模的影響，著重討論瞭曝光量的影響併分析其原因，得齣最佳工藝。另外，本文還對去膠進行瞭初步研究，穫得瞭全銅的340 GHz的摺疊波導結構。
자외광각、전주화주소(UV-LIGA)기술시제작태혁자진공전자기건(포괄해진강、전자주통도화수출파도등)적중요방법。채용 UV-LIGA기술제작340 GHz절첩파도만파결구，연구전홍、폭광량、후홍대 SU8효모적영향，착중토론료폭광량적영향병분석기원인，득출최가공예。령외，본문환대거효진행료초보연구，획득료전동적340 GHz적절첩파도결구。
Ultraviolet Lithographie , Galvanoformung and Abformung(UV-LIGA) is an attractive technique to fabricate THz vacuum electron devices including resonance cavities,electron beam tunnels and output waveguides. This paper studies the effects of the softbake,the exposure dosage and the postbake on SU8 models,highlighting the effect of the exposure dosage and its mechanics,and then obtains the optimized process parameters. The methods of SU8 removal are studied as well,and a 340 GHz all-copper Folded Waveguide(FWG) Slow Wave Structure(SWS) is fabricated.
