光学仪器
光學儀器
광학의기
OPTICAL INSTRUMENTS
2013年
4期
83-89
,共7页
SPR%纳米级%膜厚%在线测量%滑动平均滤波%小波分析%时域滤波
SPR%納米級%膜厚%在線測量%滑動平均濾波%小波分析%時域濾波
SPR%납미급%막후%재선측량%활동평균려파%소파분석%시역려파
SPR%nanoscale%thickness%online measurement%moving average filtering%wavelet analysis%temporal filtering
主要研究基于表面等离子共振(SPR)技术的纳米级金属膜厚在线测量系统中的视频信号处理问题.由于CCD在动态连续采集图像的过程中会受到环境以及工作台旋转的影响,从而会随机地产生高斯白噪声和图像的扭曲现象,造成视频图像的模糊或者扭曲失效.通过对视频图像进行滑动平均滤波、小波分析以及动态补偿时域滤波的处理,消除了高斯白噪声和避免图像扭曲的发生,确保了CCD获取视频图像的有效性与清晰度,从而提高了从图像中获取的共振角度变化量的准确性,并进一步提高了金属薄膜厚度的测量精确度与可靠性.
主要研究基于錶麵等離子共振(SPR)技術的納米級金屬膜厚在線測量繫統中的視頻信號處理問題.由于CCD在動態連續採集圖像的過程中會受到環境以及工作檯鏇轉的影響,從而會隨機地產生高斯白譟聲和圖像的扭麯現象,造成視頻圖像的模糊或者扭麯失效.通過對視頻圖像進行滑動平均濾波、小波分析以及動態補償時域濾波的處理,消除瞭高斯白譟聲和避免圖像扭麯的髮生,確保瞭CCD穫取視頻圖像的有效性與清晰度,從而提高瞭從圖像中穫取的共振角度變化量的準確性,併進一步提高瞭金屬薄膜厚度的測量精確度與可靠性.
주요연구기우표면등리자공진(SPR)기술적납미급금속막후재선측량계통중적시빈신호처리문제.유우CCD재동태련속채집도상적과정중회수도배경이급공작태선전적영향,종이회수궤지산생고사백조성화도상적뉴곡현상,조성시빈도상적모호혹자뉴곡실효.통과대시빈도상진행활동평균려파、소파분석이급동태보상시역려파적처리,소제료고사백조성화피면도상뉴곡적발생,학보료CCD획취시빈도상적유효성여청석도,종이제고료종도상중획취적공진각도변화량적준학성,병진일보제고료금속박막후도적측량정학도여가고성.
