电子器件
電子器件
전자기건
JOURNAL OF ELECTRON DEVICES
2013年
4期
431-436
,共6页
陈洪钧%郭浩%张雄%崔一平
陳洪鈞%郭浩%張雄%崔一平
진홍균%곽호%장웅%최일평
背反射镜%布拉格反射镜%金属反射镜%原子层沉积
揹反射鏡%佈拉格反射鏡%金屬反射鏡%原子層沉積
배반사경%포랍격반사경%금속반사경%원자층침적
backside reflector%distributed Bragg reflector(DBR)%metallic mirror%atomic layer deposition (ALD)
首次采用原子层沉积法制备TiO2/Al2O3布拉格反射镜并配合金属反射镜来制备了高反射率的背反射镜.制备的多层布拉格反射镜加Al镜和多层布拉格反射镜加Ag镜有很好的平整度和厚度的精确性,并且反射率高于96％.此外,TiO2/Al2O3布拉格反射镜和Al与蓝宝石衬底都有良好的粘合性,这样可以节省制备步骤并且可以得到高质量的背反射镜.利用原子层沉积技术和TiO2/Al2O3布拉格反射镜,我们得到了高反射率,角度依赖性小,更加稳定以及均一性更好的背反射镜,可以满足高亮度LED的需求.
首次採用原子層沉積法製備TiO2/Al2O3佈拉格反射鏡併配閤金屬反射鏡來製備瞭高反射率的揹反射鏡.製備的多層佈拉格反射鏡加Al鏡和多層佈拉格反射鏡加Ag鏡有很好的平整度和厚度的精確性,併且反射率高于96％.此外,TiO2/Al2O3佈拉格反射鏡和Al與藍寶石襯底都有良好的粘閤性,這樣可以節省製備步驟併且可以得到高質量的揹反射鏡.利用原子層沉積技術和TiO2/Al2O3佈拉格反射鏡,我們得到瞭高反射率,角度依賴性小,更加穩定以及均一性更好的揹反射鏡,可以滿足高亮度LED的需求.
수차채용원자층침적법제비TiO2/Al2O3포랍격반사경병배합금속반사경래제비료고반사솔적배반사경.제비적다층포랍격반사경가Al경화다층포랍격반사경가Ag경유흔호적평정도화후도적정학성,병차반사솔고우96％.차외,TiO2/Al2O3포랍격반사경화Al여람보석츤저도유량호적점합성,저양가이절성제비보취병차가이득도고질량적배반사경.이용원자층침적기술화TiO2/Al2O3포랍격반사경,아문득도료고반사솔,각도의뢰성소,경가은정이급균일성경호적배반사경,가이만족고량도LED적수구.
