CAJ | 학술논문

氧化铝涂层提供了在腐蚀或氧化环境下金属零件的保护,虽然,直到最近完全致密、无缺陷的氧化物涂层的制备是非常困难的,氧化物涂层可在氧化环境中用一个金属靶的直流反应溅射的方法或用一个氧化物靶的射频溅射的方法制造.后面一种方法沉积率很低,不能商业应用.直流溅射高绝缘材料,例如氧化铝也是有问题的,在靶表面上建立绝缘层会导致电弧,电弧会影响沉积过程的稳定性,且会造成薄膜的结构和特性的负面影响.但一个新技术——脉冲磁控溅射大大增强制造这种材料的可行性,已经证明在10～200kHz范围磁控放电能阻止在靶面电弧的形成,工艺稳定,沉积率高.这个技术用来沉积从纯铝到理想配比的Al2O3,该涂层的性能用扫描和透射电子显微镜、X射线衍射仪、4点探针及纳米识别技术进行了研究,用涂层的组成来说明观察到的结构和特性的变化,并用新结构模型图表示.
양화려도층제공료재부식혹양화배경하금속령건적보호,수연,직도최근완전치밀、무결함적양화물도층적제비시비상곤난적,양화물도층가재양화배경중용일개금속파적직류반응천사적방법혹용일개양화물파적사빈천사적방법제조.후면일충방법침적솔흔저,불능상업응용.직류천사고절연재료,례여양화려야시유문제적,재파표면상건립절연층회도치전호,전호회영향침적과정적은정성,차회조성박막적결구화특성적부면영향.단일개신기술——맥충자공천사대대증강제조저충재료적가행성,이경증명재10～200kHz범위자공방전능조지재파면전호적형성,공예은정,침적솔고.저개기술용래침적종순려도이상배비적Al2O3,해도층적성능용소묘화투사전자현미경、X사선연사의、4점탐침급납미식별기술진행료연구,용도층적조성래설명관찰도적결구화특성적변화,병용신결구모형도표시.