稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2013年
7期
1367-1371
,共5页
Ti6Al4V%离子双注入%表面改性
Ti6Al4V%離子雙註入%錶麵改性
Ti6Al4V%리자쌍주입%표면개성
Ti6Al4V%dual-ion implantation%surface modification
采用先注入1×1017 ion/cm2 Ag离子,注入能量为64.2 keV;后注入1.5×1017 ion/cm2 Ta离子,注入能量为146.5 keV对Ti6Al4V合金进行离子双注入表面改性.采用X射线衍射分析离子双注入前后Ti6Al4V合金表面的物相；利用X射线光电子能谱研究离子双注入前后Ti6Al4V合金表面元素化合态以及离子双注入Ti6Al4V合金表面元素浓度沿深度方向的分布.结果表明,离子双注入前后Ti6Al4V合金表面都被氧化了,离子注入前合金表面存在TiO、Ti2O3和Al2O3,离子双注入后Ti6Al4V合金表面有TiO2、Ta2O5、TaOx和AgO2新相生成,且在表面还存在少量V2O5和Al2O3.离子双注入合金表面生成的氧化物层形成了扩散阻挡层,阻挡铝离子和钒离子向外扩散,从而减少Ti6Al4V合金表面铝离子和钒离子的释放量.
採用先註入1×1017 ion/cm2 Ag離子,註入能量為64.2 keV;後註入1.5×1017 ion/cm2 Ta離子,註入能量為146.5 keV對Ti6Al4V閤金進行離子雙註入錶麵改性.採用X射線衍射分析離子雙註入前後Ti6Al4V閤金錶麵的物相；利用X射線光電子能譜研究離子雙註入前後Ti6Al4V閤金錶麵元素化閤態以及離子雙註入Ti6Al4V閤金錶麵元素濃度沿深度方嚮的分佈.結果錶明,離子雙註入前後Ti6Al4V閤金錶麵都被氧化瞭,離子註入前閤金錶麵存在TiO、Ti2O3和Al2O3,離子雙註入後Ti6Al4V閤金錶麵有TiO2、Ta2O5、TaOx和AgO2新相生成,且在錶麵還存在少量V2O5和Al2O3.離子雙註入閤金錶麵生成的氧化物層形成瞭擴散阻擋層,阻擋鋁離子和釩離子嚮外擴散,從而減少Ti6Al4V閤金錶麵鋁離子和釩離子的釋放量.
채용선주입1×1017 ion/cm2 Ag리자,주입능량위64.2 keV;후주입1.5×1017 ion/cm2 Ta리자,주입능량위146.5 keV대Ti6Al4V합금진행리자쌍주입표면개성.채용X사선연사분석리자쌍주입전후Ti6Al4V합금표면적물상；이용X사선광전자능보연구리자쌍주입전후Ti6Al4V합금표면원소화합태이급리자쌍주입Ti6Al4V합금표면원소농도연심도방향적분포.결과표명,리자쌍주입전후Ti6Al4V합금표면도피양화료,리자주입전합금표면존재TiO、Ti2O3화Al2O3,리자쌍주입후Ti6Al4V합금표면유TiO2、Ta2O5、TaOx화AgO2신상생성,차재표면환존재소량V2O5화Al2O3.리자쌍주입합금표면생성적양화물층형성료확산조당층,조당려리자화범리자향외확산,종이감소Ti6Al4V합금표면려리자화범리자적석방량.
