电子测量与仪器学报
電子測量與儀器學報
전자측량여의기학보
JOURNAL OF ELECTRONIC MEASUREMENT AND INSTRUMENT
2013年
7期
676-682
,共7页
光学制造%在线检测%安装误差%数控加工
光學製造%在線檢測%安裝誤差%數控加工
광학제조%재선검측%안장오차%수공가공
Optical fabrication%on-line inspection%assemble error,CNC fabricating
在光学元件的数控加工中,面形精度是工艺流程的关键指标,而工件的安装误差是影响面形精度的重要因素.基于数控机床的在线检测功能研究了球面光学元件的安装倾斜误差自动补偿问题.首先,基于球面工件安装倾斜的几何模型,将误差的补偿问题转化为工件的球心位置检测问题.然后,根据球面工件测点的同心圆布置算法以及法向探测方式实现球面检测,进而应用最小二乘拟合算法计算球心位置.最后,在口径为280 mm,曲率半径为519.796 mm的凹球面光学元件上进行了验证实验,补偿前后表面最大偏移误差由621.6 μm降低至2.8 μm.实验结果表明:应用所述算法,可以高效地实现球面安装误差高精度自动补偿.
在光學元件的數控加工中,麵形精度是工藝流程的關鍵指標,而工件的安裝誤差是影響麵形精度的重要因素.基于數控機床的在線檢測功能研究瞭毬麵光學元件的安裝傾斜誤差自動補償問題.首先,基于毬麵工件安裝傾斜的幾何模型,將誤差的補償問題轉化為工件的毬心位置檢測問題.然後,根據毬麵工件測點的同心圓佈置算法以及法嚮探測方式實現毬麵檢測,進而應用最小二乘擬閤算法計算毬心位置.最後,在口徑為280 mm,麯率半徑為519.796 mm的凹毬麵光學元件上進行瞭驗證實驗,補償前後錶麵最大偏移誤差由621.6 μm降低至2.8 μm.實驗結果錶明:應用所述算法,可以高效地實現毬麵安裝誤差高精度自動補償.
재광학원건적수공가공중,면형정도시공예류정적관건지표,이공건적안장오차시영향면형정도적중요인소.기우수공궤상적재선검측공능연구료구면광학원건적안장경사오차자동보상문제.수선,기우구면공건안장경사적궤하모형,장오차적보상문제전화위공건적구심위치검측문제.연후,근거구면공건측점적동심원포치산법이급법향탐측방식실현구면검측,진이응용최소이승의합산법계산구심위치.최후,재구경위280 mm,곡솔반경위519.796 mm적요구면광학원건상진행료험증실험,보상전후표면최대편이오차유621.6 μm강저지2.8 μm.실험결과표명:응용소술산법,가이고효지실현구면안장오차고정도자동보상.