电子制作
電子製作
전자제작
ELECTRONICS DIY
2014年
8期
57-57
,共1页
张岩%罗飞%胡智星
張巖%囉飛%鬍智星
장암%라비%호지성
晶硅太阳能电池%二氧化硅%氮化硅%减反射膜
晶硅太暘能電池%二氧化硅%氮化硅%減反射膜
정규태양능전지%이양화규%담화규%감반사막
采用热氧化法制备二氧化硅减反射膜，采用PECVD制备氮化硅减反射膜，对双层薄膜带来的钝化效果进行了表征，对比了SiNX /SiO2双层减反膜和SiNX单层减反膜的区别，并研究了不同氧化工艺对扩散方阻的影响，双层减反射膜对晶硅太阳能电池的影响。结果表明：使用双层SiNX /SiO2减反膜的钝化效果更好，晶硅电池转化效率更高。
採用熱氧化法製備二氧化硅減反射膜，採用PECVD製備氮化硅減反射膜，對雙層薄膜帶來的鈍化效果進行瞭錶徵，對比瞭SiNX /SiO2雙層減反膜和SiNX單層減反膜的區彆，併研究瞭不同氧化工藝對擴散方阻的影響，雙層減反射膜對晶硅太暘能電池的影響。結果錶明：使用雙層SiNX /SiO2減反膜的鈍化效果更好，晶硅電池轉化效率更高。
채용열양화법제비이양화규감반사막，채용PECVD제비담화규감반사막，대쌍층박막대래적둔화효과진행료표정，대비료SiNX /SiO2쌍층감반막화SiNX단층감반막적구별，병연구료불동양화공예대확산방조적영향，쌍층감반사막대정규태양능전지적영향。결과표명：사용쌍층SiNX /SiO2감반막적둔화효과경호，정규전지전화효솔경고。
