仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2013年
7期
17-19,28
,共4页
位移测量%半导体激光器%光反馈自混合干涉%梯度最优算法
位移測量%半導體激光器%光反饋自混閤榦涉%梯度最優算法
위이측량%반도체격광기%광반궤자혼합간섭%제도최우산법
displacement measurement%semiconductor laser sensor%optical feedback self-mixing interferometry%gradient-based optimization algorithm
为了提高位移测量的精确度,提出了一种基于光反馈自混合干涉技术的位移测量方法.采用梯度最优算法分析和处理自混合干涉信号,达到数据理论的最佳拟合,实现微位移的精密测量,并通过设计算法对外部物体的运动轨迹进行重构.提出的传感器可用于亚微米级位移的测量和控制,并给出了PZT位移的实验结果.
為瞭提高位移測量的精確度,提齣瞭一種基于光反饋自混閤榦涉技術的位移測量方法.採用梯度最優算法分析和處理自混閤榦涉信號,達到數據理論的最佳擬閤,實現微位移的精密測量,併通過設計算法對外部物體的運動軌跡進行重構.提齣的傳感器可用于亞微米級位移的測量和控製,併給齣瞭PZT位移的實驗結果.
위료제고위이측량적정학도,제출료일충기우광반궤자혼합간섭기술적위이측량방법.채용제도최우산법분석화처리자혼합간섭신호,체도수거이론적최가의합,실현미위이적정밀측량,병통과설계산법대외부물체적운동궤적진행중구.제출적전감기가용우아미미급위이적측량화공제,병급출료PZT위이적실험결과.
