光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2013年
7期
823-827
,共5页
薄膜光学%溶胶-凝胶法%二氧化硅增透膜%表面处理%水氨%六甲基二硅氮烷
薄膜光學%溶膠-凝膠法%二氧化硅增透膜%錶麵處理%水氨%六甲基二硅氮烷
박막광학%용효-응효법%이양화규증투막%표면처리%수안%륙갑기이규담완
Film optics%Sol-gel method%Silica antireflective coatings%Surface treatments%Water-NH3%hexamethyldisilazane
针对溶胶-凝胶法制备的1/4波长二氧化硅增透膜耐环境性差的缺点,对其进行了水氨或/和六甲基二硅氮烷的表面处理,并对单一气氛处理和两种气氛联合处理后的膜层性质进行了对比研究.展现了膜层经各项表面处理后物理性质和微观结构的变化,以及两种气氛联合处理时因处理顺序不同而引起的最终结果的差异.研究表明:水氨蒸汽处理促进了膜层粒子间表面羟基的交联,膜层较处理前厚度降低,但耐摩擦性增强,光学透过率基本保持不变；硅氮烷蒸汽处理向膜层引入了甲基,膜层极性较低,粒子间作用力因此降低,耐摩擦性下降,但疏水性得到良好的改善；先水氨后硅氮烷蒸汽处理时,水氨蒸汽的前处理在提高膜层耐摩擦的同时降低了表面羟基的数量,使后续硅氮烷处理时强度降低,故两步处理后膜层保持了较好的耐摩擦性和一定的疏水性；而先硅氮烷后水氨蒸汽处理时,硅氮烷蒸汽的前处理明显改善了膜层的疏水性,却因膜层表面羟基减少、间距增大而降低了水氨蒸汽的处理强度,耐摩擦性虽有较大提高,但稍弱于单一水氨蒸汽处理时的耐摩擦性.
針對溶膠-凝膠法製備的1/4波長二氧化硅增透膜耐環境性差的缺點,對其進行瞭水氨或/和六甲基二硅氮烷的錶麵處理,併對單一氣氛處理和兩種氣氛聯閤處理後的膜層性質進行瞭對比研究.展現瞭膜層經各項錶麵處理後物理性質和微觀結構的變化,以及兩種氣氛聯閤處理時因處理順序不同而引起的最終結果的差異.研究錶明:水氨蒸汽處理促進瞭膜層粒子間錶麵羥基的交聯,膜層較處理前厚度降低,但耐摩抆性增彊,光學透過率基本保持不變；硅氮烷蒸汽處理嚮膜層引入瞭甲基,膜層極性較低,粒子間作用力因此降低,耐摩抆性下降,但疏水性得到良好的改善；先水氨後硅氮烷蒸汽處理時,水氨蒸汽的前處理在提高膜層耐摩抆的同時降低瞭錶麵羥基的數量,使後續硅氮烷處理時彊度降低,故兩步處理後膜層保持瞭較好的耐摩抆性和一定的疏水性；而先硅氮烷後水氨蒸汽處理時,硅氮烷蒸汽的前處理明顯改善瞭膜層的疏水性,卻因膜層錶麵羥基減少、間距增大而降低瞭水氨蒸汽的處理彊度,耐摩抆性雖有較大提高,但稍弱于單一水氨蒸汽處理時的耐摩抆性.
침대용효-응효법제비적1/4파장이양화규증투막내배경성차적결점,대기진행료수안혹/화륙갑기이규담완적표면처리,병대단일기분처리화량충기분연합처리후적막층성질진행료대비연구.전현료막층경각항표면처리후물이성질화미관결구적변화,이급량충기분연합처리시인처리순서불동이인기적최종결과적차이.연구표명:수안증기처리촉진료막층입자간표면간기적교련,막층교처리전후도강저,단내마찰성증강,광학투과솔기본보지불변；규담완증기처리향막층인입료갑기,막층겁성교저,입자간작용력인차강저,내마찰성하강,단소수성득도량호적개선；선수안후규담완증기처리시,수안증기적전처리재제고막층내마찰적동시강저료표면간기적수량,사후속규담완처리시강도강저,고량보처리후막층보지료교호적내마찰성화일정적소수성；이선규담완후수안증기처리시,규담완증기적전처리명현개선료막층적소수성,각인막층표면간기감소、간거증대이강저료수안증기적처리강도,내마찰성수유교대제고,단초약우단일수안증기처리시적내마찰성.
