CAJ | 학술논문

采用射频磁控溅射的方法制备了GZO透明导电薄膜,通过原子力显微镜(AFM)、X射线衍射仪(XRD)、霍尔效应测试仪及紫外-可见光分光光度计等手段研究了厚度对于GZO薄膜性能的影响,并制备了相应的LED器件.实验结果表明:随着薄膜厚度增加,薄膜结晶质量提高,薄膜的电阻率也随之降低.当厚度为500 nm时,薄膜的电阻率最低为2.79×10-4Ω·cm,同时其在460 nm蓝光区域的光透过率高达97.9％.对所制备的以GZO薄膜为透明电极的LED器件进行了测试分析,发现GZO薄膜厚度对LED的正向电压影响不大,但对LED芯片的出光效率有较大影响.
채용사빈자공천사적방법제비료GZO투명도전박막,통과원자력현미경(AFM)、X사선연사의(XRD)、곽이효응측시의급자외-가견광분광광도계등수단연구료후도대우GZO박막성능적영향,병제비료상응적LED기건.실험결과표명:수착박막후도증가,박막결정질량제고,박막적전조솔야수지강저.당후도위500 nm시,박막적전조솔최저위2.79×10-4Ω·cm,동시기재460 nm람광구역적광투과솔고체97.9％.대소제비적이GZO박막위투명전겁적LED기건진행료측시분석,발현GZO박막후도대LED적정향전압영향불대,단대LED심편적출광효솔유교대영향.