中国光学
中國光學
중국광학
CHINESE JOURNAL OF OPTICS
2013年
4期
551-556
,共6页
曲锋%朱华新%刘桂林%李帅%孙强
麯鋒%硃華新%劉桂林%李帥%孫彊
곡봉%주화신%류계림%리수%손강
光学薄膜%增透膜%电子束蒸发物理气相沉积%透过率
光學薄膜%增透膜%電子束蒸髮物理氣相沉積%透過率
광학박막%증투막%전자속증발물리기상침적%투과솔
以ZF6为基底,采用电子束蒸发物理气相沉积方法设计并制备了一种增透波长为0.4～0.8μm的宽谱带可见光区增透膜.薄膜材料仅含有TiO2和SiO2两种材料,分别作为高低折射率材料.利用Edinburgh光谱仪对双面镀制该膜系样品的透过率进行测量,测试结果表明:薄膜平均透过率达98.15％,实际样品的光学特性与设计结果基本相符,具有宽带的增透特性,减少了表面剩余反射.机械强度与环境测试表明:制备的薄膜具有良好的稳定性和牢固度,可以应用于可靠性要求较高的光学系统中.
以ZF6為基底,採用電子束蒸髮物理氣相沉積方法設計併製備瞭一種增透波長為0.4～0.8μm的寬譜帶可見光區增透膜.薄膜材料僅含有TiO2和SiO2兩種材料,分彆作為高低摺射率材料.利用Edinburgh光譜儀對雙麵鍍製該膜繫樣品的透過率進行測量,測試結果錶明:薄膜平均透過率達98.15％,實際樣品的光學特性與設計結果基本相符,具有寬帶的增透特性,減少瞭錶麵剩餘反射.機械彊度與環境測試錶明:製備的薄膜具有良好的穩定性和牢固度,可以應用于可靠性要求較高的光學繫統中.
이ZF6위기저,채용전자속증발물리기상침적방법설계병제비료일충증투파장위0.4～0.8μm적관보대가견광구증투막.박막재료부함유TiO2화SiO2량충재료,분별작위고저절사솔재료.이용Edinburgh광보의대쌍면도제해막계양품적투과솔진행측량,측시결과표명:박막평균투과솔체98.15％,실제양품적광학특성여설계결과기본상부,구유관대적증투특성,감소료표면잉여반사.궤계강도여배경측시표명:제비적박막구유량호적은정성화뢰고도,가이응용우가고성요구교고적광학계통중.
