液晶与显示
液晶與顯示
액정여현시
CHINESE JOURNAL OF LIQUID CRYSTALS AND DISPLAYS
2013年
2期
194-198
,共5页
姜晓辉%张家祥%王亮%郭建%沈奇雨%曲连杰%张文余%田宗民%阎长江
薑曉輝%張傢祥%王亮%郭建%瀋奇雨%麯連傑%張文餘%田宗民%閻長江
강효휘%장가상%왕량%곽건%침기우%곡련걸%장문여%전종민%염장강
树脂材料%ITO刻蚀%ITO刻蚀液%涂胶工艺
樹脂材料%ITO刻蝕%ITO刻蝕液%塗膠工藝
수지재료%ITO각식%ITO각식액%도효공예
树脂材料表面平坦度高,光透过率高,介电常数低(e≈3.5),在薄膜晶体管显示器(TFT-LCD)中使用树脂材料作为钝化层,可以降低公共电极和源、漏金属之间的电容,降低逻辑功耗,达到降低整体功耗的目的,同时增大开口率.文章讨论在边缘场中引入树脂材料作为钝化层产生的与氧化铟锡(ITO)刻蚀相关问题:金属Mo腐蚀,ITO缺失等.通过优化刻蚀工艺,感光树脂与非感光树脂和ITO刻蚀液的搭配,以及改变树脂涂胶工艺,成功地将树脂引入TFT-LCD中.
樹脂材料錶麵平坦度高,光透過率高,介電常數低(e≈3.5),在薄膜晶體管顯示器(TFT-LCD)中使用樹脂材料作為鈍化層,可以降低公共電極和源、漏金屬之間的電容,降低邏輯功耗,達到降低整體功耗的目的,同時增大開口率.文章討論在邊緣場中引入樹脂材料作為鈍化層產生的與氧化銦錫(ITO)刻蝕相關問題:金屬Mo腐蝕,ITO缺失等.通過優化刻蝕工藝,感光樹脂與非感光樹脂和ITO刻蝕液的搭配,以及改變樹脂塗膠工藝,成功地將樹脂引入TFT-LCD中.
수지재료표면평탄도고,광투과솔고,개전상수저(e≈3.5),재박막정체관현시기(TFT-LCD)중사용수지재료작위둔화층,가이강저공공전겁화원、루금속지간적전용,강저라집공모,체도강저정체공모적목적,동시증대개구솔.문장토론재변연장중인입수지재료작위둔화층산생적여양화인석(ITO)각식상관문제:금속Mo부식,ITO결실등.통과우화각식공예,감광수지여비감광수지화ITO각식액적탑배,이급개변수지도효공예,성공지장수지인입TFT-LCD중.
